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公开(公告)号：CN109564422A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780049684.6
申请日：2017-07-26
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 本发明揭示用于通过整合实时数据收集、事件优先化及透过图像分析自动确定匹配状态进行工具状况监测及匹配的系统及方法。可实时接收来自半导体生产工具的数据。可确定参数数据及缺陷属性数据的控制限度影响CLI且可优先化因果关系因素。图像分析技术可比较图像且可用于例如通过识别所述半导体制造工具中的两者或两者以上匹配所处的状态中的一者来判断工具匹配。
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公开(公告)号：CN109564422B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201780049684.6
申请日：2017-07-26
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 本发明揭示用于通过整合实时数据收集、事件优先化及透过图像分析自动确定匹配状态进行工具状况监测及匹配的系统及方法。可实时接收来自半导体生产工具的数据。可确定参数数据及缺陷属性数据的控制限度影响CLI且可优先化因果关系因素。图像分析技术可比较图像且可用于例如通过识别所述半导体制造工具中的两者或两者以上匹配所处的状态中的一者来判断工具匹配。
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公开(公告)号：CN109844664B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201780064588.9
申请日：2017-10-19
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 一种工艺控制技术使用来自多个制造工具及多个检验工具或计量工具的生产数据。可对所述生产数据计算总测量不确定度TMU，所述生产数据可包含对使用所述制造工具制造的一或多个装置的测量。可依据TMU将制造步骤排位或者对制造步骤进行比较。可使用生产数据连续地监测所有生产模式及配方。
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公开(公告)号：CN109844664A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780064588.9
申请日：2017-10-19
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 一种工艺控制技术使用来自多个制造工具及多个检验工具或计量工具的生产数据。可对所述生产数据计算总测量不确定度TMU，所述生产数据可包含对使用所述制造工具制造的一或多个装置的测量。可依据TMU将制造步骤排位或者对制造步骤进行比较。可使用生产数据连续地监测所有生产模式及配方。
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