公开(公告)号：CN111433677B

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN201880077791.4

申请日：2018-12-10

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： N·古特曼 ,  E·阿米特 ,  S·艾林 ,  H·帕塔尼亚希瑞拉曼 ,  F·拉斯克 ,  U·铂尔曼 ,  T·海德里希

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/84 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 一种叠加计量系统包含粒子束计量工具，所述粒子束计量工具用粒子束跨包含第一层目标元件及第二层目标元件的样本上的叠加目标扫描。所述叠加计量系统可进一步包含控制器，所述控制器从所述粒子束计量工具接收扫描信号、就对称性度量来确定所述扫描信号的对称性测量，且基于所述对称性测量来产生所述第一层与所述第二层之间的叠加测量，其中所述扫描信号的不对称性指示所述第二层目标元件相对于所述第一层目标元件的未对准，且所述叠加测量的值基于所述对称性测量。

公开(公告)号：CN111433677A

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201880077791.4

申请日：2018-12-10

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： N·古特曼 ,  E·阿米特 ,  S·艾林 ,  H·帕塔尼亚希瑞拉曼 ,  F·拉斯克 ,  U·铂尔曼 ,  T·海德里希

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/84 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 一种叠加计量系统包含粒子束计量工具，所述粒子束计量工具用粒子束跨包含第一层目标元件及第二层目标元件的样本上的叠加目标扫描。所述叠加计量系统可进一步包含控制器，所述控制器从所述粒子束计量工具接收扫描信号、就对称性度量来确定所述扫描信号的对称性测量，且基于所述对称性测量来产生所述第一层与所述第二层之间的叠加测量，其中所述扫描信号的不对称性指示所述第二层目标元件相对于所述第一层目标元件的未对准，且所述叠加测量的值基于所述对称性测量。