公开(公告)号：CN110709973B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN201880036421.6

申请日：2018-06-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·马修 ,  E·希夫林 ,  S·森 ,  S·钱德拉塞卡安 ,  高理升 ,  B·布拉尔

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

Abstract: 可将来自热扫描的缺陷保存例如在永久存储装置、随机存取存储器或分离数据库上。所述永久存储装置可为基于区块的虚拟检验器虚拟分析器VIVA或本地存储装置。可确定重复者缺陷检测工作且可基于所述重复者缺陷检测工作检验晶片。可分析重复者缺陷且可从所述永久存储装置读取对应于所述重复者缺陷的缺陷记录。可将这些结果回传到高阶缺陷检测控制器。

公开(公告)号：CN109964115B

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201780068950.X

申请日：2017-11-08

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： B·布拉尔 ,  S·巴塔查里亚 ,  E·希夫林 ,  李胡成 ,  B·默里 ,  A·马修 ,  C·巴哈斯卡尔 ,  高理升

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明提供用于检测光罩上的缺陷的系统及方法。一种系统包含：(若干)计算机子系统，其包含一或多个图像处理组件，其获取由检验子系统针对晶片产生的图像；主用户接口组件，其将针对所述晶片及所述光罩产生的信息提供到用户且接收来自所述用户的指令；及接口组件，其提供所述一或多个图像处理组件与所述主用户接口之间的接口。不同于当前使用的系统，所述一或多个图像处理组件经配置用于通常将重复项缺陷检测算法应用到由所述一或多个图像处理组件获取的所述图像而执行重复项缺陷检测，且所述重复项缺陷检测算法经配置以使用热阈值来检测所述晶片上的缺陷且识别是重复项缺陷的所述缺陷。

公开(公告)号：CN110709973A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201880036421.6

申请日：2018-06-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·马修 ,  E·希夫林 ,  S·森 ,  S·钱德拉塞卡安 ,  高理升 ,  B·布拉尔

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

Abstract: 可将来自热扫描的缺陷保存例如在永久存储装置、随机存取存储器或分离数据库上。所述永久存储装置可为基于区块的虚拟检验器虚拟分析器VIVA或本地存储装置。可确定重复者缺陷检测工作且可基于所述重复者缺陷检测工作检验晶片。可分析重复者缺陷且可从所述永久存储装置读取对应于所述重复者缺陷的缺陷记录。可将这些结果回传到高阶缺陷检测控制器。

公开(公告)号：CN115516294B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202180032409.X

申请日：2021-05-05

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： B·达菲 ,  M·鲁洛 ,  A·马修 ,  张晶 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

Abstract: 公开一种检验系统。所述检验系统包含经配置以从缺陷检验工具接收图像数据的共享存储器，及通信地耦合到所述共享存储器的控制器。所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以使用中央处理单元(CPU)架构将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及副图像模块，其经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据。所述副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率。响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样。

公开(公告)号：CN109964115A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201780068950.X

申请日：2017-11-08

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： B·布拉尔 ,  S·巴塔查里亚 ,  E·希夫林 ,  李胡成 ,  B·默里 ,  A·马修 ,  C·巴哈斯卡尔 ,  高理升

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明提供用于检测光罩上的缺陷的系统及方法。一种系统包含：(若干)计算机子系统，其包含一或多个图像处理组件，其获取由检验子系统针对晶片产生的图像；主用户接口组件，其将针对所述晶片及所述光罩产生的信息提供到用户且接收来自所述用户的指令；及接口组件，其提供所述一或多个图像处理组件与所述主用户接口之间的接口。不同于当前使用的系统，所述一或多个图像处理组件经配置用于通常将重复项缺陷检测算法应用到由所述一或多个图像处理组件获取的所述图像而执行重复项缺陷检测，且所述重复项缺陷检测算法经配置以使用热阈值来检测所述晶片上的缺陷且识别是重复项缺陷的所述缺陷。

公开(公告)号：CN115516294A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180032409.X

申请日：2021-05-05

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： B·达菲 ,  M·鲁洛 ,  A·马修 ,  张晶 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

Abstract: 公开一种检验系统。所述检验系统包含经配置以从缺陷检验工具接收图像数据的共享存储器，及通信地耦合到所述共享存储器的控制器。所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以使用中央处理单元(CPU)架构将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及副图像模块，其经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据。所述副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率。响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样。