公开(公告)号：CN110709973A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201880036421.6

申请日：2018-06-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·马修 ,  E·希夫林 ,  S·森 ,  S·钱德拉塞卡安 ,  高理升 ,  B·布拉尔

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

Abstract: 可将来自热扫描的缺陷保存例如在永久存储装置、随机存取存储器或分离数据库上。所述永久存储装置可为基于区块的虚拟检验器虚拟分析器VIVA或本地存储装置。可确定重复者缺陷检测工作且可基于所述重复者缺陷检测工作检验晶片。可分析重复者缺陷且可从所述永久存储装置读取对应于所述重复者缺陷的缺陷记录。可将这些结果回传到高阶缺陷检测控制器。

公开(公告)号：CN110709973B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN201880036421.6

申请日：2018-06-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·马修 ,  E·希夫林 ,  S·森 ,  S·钱德拉塞卡安 ,  高理升 ,  B·布拉尔

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

Abstract: 可将来自热扫描的缺陷保存例如在永久存储装置、随机存取存储器或分离数据库上。所述永久存储装置可为基于区块的虚拟检验器虚拟分析器VIVA或本地存储装置。可确定重复者缺陷检测工作且可基于所述重复者缺陷检测工作检验晶片。可分析重复者缺陷且可从所述永久存储装置读取对应于所述重复者缺陷的缺陷记录。可将这些结果回传到高阶缺陷检测控制器。