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公开(公告)号：CN101410930B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200780010722.3
申请日：2007-03-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·罗 , 皮尔·R·卢比克 , D·杰弗里·里斯查尔 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森 , 约瑟·C·欧尔森
IPC: H01J37/16 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/3171 , H01J2237/026 , H01J2237/038
Abstract: 离子注入机(100)包括经组态以提供离子束(152)的离子源(102)、界定空腔(110)的终端结构(104)，所述离子源至少部分地安置于空腔内，以及包括绝缘系统(162，171)。所述绝缘系统经组态以电绝缘终端结构且经组态以在接近终端结构的至少一个外表面的区域中提供大于约72千伏/英寸的有效介电强度(dielectric strength)。本发明亦提供用来电绝缘离子注入机的气体盒(106)的气体盒绝缘系统。
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公开(公告)号：CN105531896A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480048620.0
申请日：2014-08-12
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 皮尔·R·卢比克 , 卡森·泰克雷特萨迪克
IPC: H02H9/02
Abstract: 揭示一种用于提供隔离电源给用于固态开关装置中的栅极驱动电路的系统和方法。并非使用昂贵的隔离AC/DC电源供应器，而是使用隔离变压器来提供隔离AC电压。在一个实施例中，隔离变压器的初级绕组跨越独立AC源而设置。在另一实施例中，隔离变压器的初级绕组跨越AC电源线的两个相位而设置。隔离AC电压接着跨越隔离变压器的次级绕组而产生。此隔离AC电压接着由非隔离DC电源供应器使用，所述非隔离DC电源供应器产生用于栅极驱动电路的电源。
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公开(公告)号：CN101802964A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880107478.7
申请日：2008-08-22
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·J·罗 , 皮尔·R·卢比克 , 杰弗里·D·里斯查尔 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森 , 约瑟·C·欧尔森 , 卡森·D·泰克雷特萨迪克
IPC: H01J37/00
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/248 , H01J2237/026 , H01J2237/038 , H01J2237/2001
Abstract: 本发明揭露了用于离子植入机的终端隔离的技术。在一个特定示范性实施例中，这些技术可被实现为离子植入机，其包括界定终端空腔的终端结构。离子植入机也可包括界定接地空腔的接地外壳且终端结构可至少部分地安置于接地空腔内。离子植入机还可包括中间终端结构，中间终端结构紧邻终端结构的外部安置且至少部分地安置于接地空腔内。
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公开(公告)号：CN101627529A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200880005779.9
申请日：2008-01-03
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H02M7/10
CPC classification number: H02M7/103
Abstract: 一种离子注入系统的电源供应系统。在一实施例中，此系统可为一种电源供应系统，其包括低频电源变换器、堆栈式驱动器以及从电源变换器接收源电力的高压发电单元。高压发电单元可包括用以提供输出电力的高压变压器，输出电力倍增到所需的输出电平并且输送到离子束加速器的输入端。电源供应系统还可包括介电外壳，其包围高压发电单元的至少一部份，藉此避免内部元件的崩溃强度变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101809714B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200880109201.8
申请日：2008-09-12
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H05H15/00
Abstract: 本文揭示了一种控制带电粒子束的技术。在一特定示范性实施例中，此技术可实现成带电粒子加速/减速系统。此带电粒子加速/减速系统可包括加速柱体。此加速柱体可包括具有孔径的多个电极，其中带电粒子束可穿过此孔径。带电粒子加速/减速系统还可包括电性耦接到多个电极的多个电阻器。带电粒子加速/减速系统还可包括电性耦接到多个电极以及多个电阻器的多个开关，多个开关中的每一个可构造成分别选择性接通多个操作模式。
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公开(公告)号：CN101802964B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200880107478.7
申请日：2008-08-22
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·J·罗 , 皮尔·R·卢比克 , 杰弗里·D·里斯查尔 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森 , 约瑟·C·欧尔森 , 卡森·D·泰克雷特萨迪克
IPC: H01J37/00
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/248 , H01J2237/026 , H01J2237/038 , H01J2237/2001
Abstract: 本发明揭露了用于离子植入机的终端隔离的技术。在一个特定示范性实施例中，这些技术可被实现为离子植入机，其包括界定终端空腔的终端结构。离子植入机也可包括界定接地空腔的接地外壳且终端结构可至少部分地安置于接地空腔内。离子植入机还可包括中间终端结构，中间终端结构紧邻终端结构的外部安置且至少部分地安置于接地空腔内。
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公开(公告)号：CN101809714A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200880109201.8
申请日：2008-09-12
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H05H15/00
Abstract: 本发明揭示了一种控制带电粒子束的技术。在一特定示范性实施例中，此技术可实现成带电粒子加速/减速系统。此带电粒子加速/减速系统可包括加速柱体。此加速柱体可包括具有孔径的多个电极，其中带电粒子束可穿过此孔径。带电粒子加速/减速系统还可包括电性耦接到多个电极的多个电阻器。带电粒子加速/减速系统还可包括电性耦接到多个电极以及多个电阻器的多个开关，多个开关中的每一个可构造成分别选择性接通多个操作模式。
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公开(公告)号：CN105531896B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201480048620.0
申请日：2014-08-12
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 皮尔·R·卢比克 , 卡森·泰克雷特萨迪克
IPC: H02H9/02
Abstract: 本发明提供一种故障电流限制装置、用于限制故障电流的方法和系统。并非使用昂贵的隔离AC/DC电源供应器，而是使用隔离变压器来提供隔离AC电压。在一个实施例中，隔离变压器的初级绕组跨越独立AC源而设置。在另一实施例中，隔离变压器的初级绕组跨越AC电源线的两个相位而设置。隔离AC电压接着跨越隔离变压器的次级绕组而产生。此隔离AC电压接着由非隔离DC电源供应器使用，所述非隔离DC电源供应器产生用于栅极驱动电路的电源。
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公开(公告)号：CN101410930A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200780010722.3
申请日：2007-03-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·罗 , 皮尔·R·卢比克 , D·杰弗里·里斯查尔 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森 , 约瑟·C·欧尔森
IPC: H01J37/16 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/3171 , H01J2237/026 , H01J2237/038
Abstract: 离子注入机(100)包括经组态以提供离子束(152)的离子源(102)、界定空腔(110)的终端结构(104)，所述离子源至少部分地安置于空腔内，以及包括绝缘系统(162，171)。所述绝缘系统经组态以电绝缘终端结构且经组态以在接近终端结构的至少一个外表面的区域中提供大于约72千伏/时的有效介电强度(dielectric strength)。本发明亦提供用来电绝缘离子注入机的气体盒(106)的气体盒绝缘系统。
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