公开(公告)号：CN101371328B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200780002667.3

申请日：2007-01-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 詹姆斯·J·康米斯 ,  约瑟·欧尔森 ,  亚瑟·H·克雷福 ,  艾立克·赫尔曼森 ,  罗扎里欧·马雷卡 ,  保罗·J·墨菲 ,  马克·多拿赫

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01B15/00 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31703

Abstract: 一种用于离子束的角度测量系统，此角度测量系统包括：界定第一以及第二特征的旗标，其中第二特征具有自第一特征的可变间距；用以沿着平移路径而平移旗标以使得旗标截取离子束的至少一部分的机构；以及用以沿着平移路径而侦测不同旗标位置的离子束且回应于经侦测的离子束而产生感应器信号的感应装置。感应器信号以及旗标的对应位置表示垂直平面中离子束的垂直离子束角度。感应装置可包括一屏蔽以及一用以平移屏蔽以便界定相关联的法拉第感应器的一部分上的离子束电流感应器的机构。

公开(公告)号：CN101371328A

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：CN200780002667.3

申请日：2007-01-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 詹姆斯·J·康米斯 ,  约瑟·欧尔森 ,  亚瑟·H·克雷福 ,  艾立克·赫尔曼森 ,  罗扎里欧·马雷卡 ,  保罗·J·墨菲 ,  马克·多拿赫

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01B15/00 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31703

Abstract: 一种用于离子束的角度测量系统，此角度测量系统包括：界定第一以及第二特征的旗标，其中第二特征具有自第一特征的可变间距；用以沿着平移路径而平移旗标以使得旗标截取离子束的至少一部分的机构；以及用以沿着平移路径而侦测不同旗标位置的离子束且回应于经侦测的离子束而产生感应器信号的感应装置。感应器信号以及旗标的对应位置表示垂直平面中离子束的垂直离子束角度。感应装置可包括一屏蔽以及一用以平移屏蔽以便界定相关联的法拉第感应器的一部分上的离子束电流感应器的机构。