公开(公告)号：CN118847622A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410878399.7

申请日：2024-07-02

Applicant: 清华大学

Inventor： 夏乾旭 ,  郑连敏 ,  杜应超 ,  王翼安 ,  吕鹏 ,  王志远

IPC: B08B7/00 ,  B08B3/12 ,  B08B13/00

Abstract: 本发明公开了一种用于清洗表面有机物和金属氧化物的等离子体处理装置，其包括第一壳体、供气组件、抽气组件和等离子体发生组件，第一壳体具有内腔；供气组件用于向内腔中输送工作气体；抽气组件用于抽排内腔中的气体；等离子体发生组件包括功率源和线圈，线圈设在内腔中，功率源与线圈连接，等离子体发生组件利用微波源通过电感耦合放电方式使通入内腔中的工作气体产生等离子体，提高等离子体密度和清洗效果，避免对物品表面造成的破坏。本发明还通过设置压力控制组件、加热组件和光纤光谱仪，能够对内腔中的气压、温度、电子密度等反应参数进行监控和调节，优化和提高等离子体清洗的效果，并为等离子体清洗技术的研究提供技术支持。

公开(公告)号：CN111769017B

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202010664695.9

申请日：2020-07-10

Applicant: 清华大学

Inventor： 李任恺 ,  黄鹏玮 ,  杜应超 ,  郑连敏 ,  唐传祥 ,  黄文会 ,  陈怀璧 ,  施嘉儒

IPC: H01J3/02

Abstract: 本发明涉及一种光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪包括：若干加速腔，所述加速腔沿轴线相互连通；光阴极，所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上；波导管(102)，所述波导管(102)与所述加速腔相连通；阴极盘(121)，所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极，所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123)，每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧；以及真空腔(131)，所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接所述阴极盘(121)的盘面两侧，通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通。

公开(公告)号：CN111769017A

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN202010664695.9

申请日：2020-07-10

Applicant: 清华大学

Inventor： 李任恺 ,  黄鹏玮 ,  杜应超 ,  郑连敏 ,  唐传祥 ,  黄文会 ,  陈怀璧 ,  施嘉儒

IPC: H01J3/02

Abstract: 本发明涉及一种光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪包括：若干加速腔，所述加速腔沿轴线相互连通；光阴极，所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上；波导管(102)，所述波导管(102)与所述加速腔相连通；阴极盘(121)，所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极，所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123)，每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧；以及真空腔(131)，所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接所述阴极盘(121)的盘面两侧，通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通。