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公开(公告)号：CN117612915A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311469509.6
申请日：2023-11-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01J37/063 , H01J37/067
Abstract: 本申请涉及一种阳极组件和电子射线发出设备，包括：冷却体；多个阳极靶片，分别设置于冷却体的一侧表面，各阳极靶片相对于电子射线发出设备中的电子束发出组件的相对位置不同，阳极靶片用于对电子束发出组件发出的电子束进行能量转换得到电子射线，并用于沿阳极靶片对应的发射方向发射电子射线；冷却组件，设置于冷却体中，冷却组件用于在阳极靶片对电子束进行能量转换的过程中对阳极靶片进行冷却。本申请所提供的阳极组件和电子射线发出设备性能更高。
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公开(公告)号：CN116209131A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202111443651.4
申请日：2021-11-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外(EUV)光源。该电子束团注入系统包括：光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串，直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内，展束环用于对多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源，从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
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公开(公告)号：CN116131070A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310137903.3
申请日：2023-02-06
Applicant: 清华大学
IPC: H01S1/00
Abstract: 本申请涉及一种太赫兹辐射的产生系统及方法。其中光阴极电子枪用于接收激光脉冲串并产生电子束；加速管用于将电子束加速至相对论能量；第一聚焦螺线管位于光阴极电子枪的出口处，用于提高电子束的电荷密度，第二聚焦螺线管环绕加速管，用于在电子束于加速管中加速时，调节电子束的电荷密度至目标电荷密度；束线管用于传输能量调制的电子束；色散节包括上半色散节与下半色散节，束线管自上半色散节与下半色散节之间穿过，用于在能量调制的电子束于束线管中传输时，将能量调制的电子束转换为密度调制的电子束；辐射装置用于接收密度调制的电子束，并通过密度调制的电子束产生太赫兹辐射。本系统可以工作在一般的直线加速器上，降低对加速器的需求。
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公开(公告)号：CN113053710A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110272263.8
申请日：2021-03-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种电子层叠成像系统，具有光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪的光阴极表面的电子受驱动激光脉冲的激发而产生电子束团；磁透镜，所述磁透镜用于对所述电子束团进行横向调制；聚束腔，该聚束腔用于对所述电子束团进行纵向调制；样品室，该样品室用于放置待测样品，样品与所述样品室能够相对于运动以使所述电子束团在样品不同位置处成像；探测装置，该探测装置用于探测与所述样品室内放置的样品作用后的成像电子束获得成像信息；图像重建装置，该图像重建装置用于根据所述探测装置获得的成像信息对样品进行图像重建。
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公开(公告)号：CN117255468A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311168787.8
申请日：2023-09-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种分布式X射线源以及具有该射线源的CT设备。分布式X射线源以及具有该射线源的设备包括：壳体、多个电子枪、阳极、高压接头、输出窗、多个第一控制模块以及至少一个第二控制模块。上述的CT设备中，通过第二控制模块控制每个第一控制模块向电子枪输入发射信号，使得多个电子枪中的任意一个或多个向阳极发射电子，高压接头为阳极提供高电压，从而在真空腔内形成加速电场，使得来自电子枪的电子与阳极相互作用产生射线并通过条形出射孔、输出窗射出壳体，从而通过通知多个电子枪的任意一个或多个，向壳体外在不同的时间和空间产生射线，满足了一台设备对射线的不同需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113053710B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202110272263.8
申请日：2021-03-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种电子层叠成像系统，具有光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪的光阴极表面的电子受驱动激光脉冲的激发而产生电子束团；磁透镜，所述磁透镜用于对所述电子束团进行横向调制；聚束腔，该聚束腔用于对所述电子束团进行纵向调制；样品室，该样品室用于放置待测样品，样品与所述样品室能够相对于运动以使所述电子束团在样品不同位置处成像；探测装置，该探测装置用于探测与所述样品室内放置的样品作用后的成像电子束获得成像信息；图像重建装置，该图像重建装置用于根据所述探测装置获得的成像信息对样品进行图像重建。
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公开(公告)号：CN113517167A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110405488.6
申请日：2021-04-15
Applicant: 清华大学
IPC: H01J37/141 , H01J37/26
Abstract: 本发明公开了一种电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统，主要包括：微波腔组，与电子透镜共同设置于电子束的传播方向上；微波功率源，连接于微波腔组，为微波腔组提供能量。本发明利用由微波功率源提供能量的微波腔组对入射电子束进行球差控制，进而在电子束经过微波腔组和电子透镜后，微波腔组对电子束所产生的负球差与电子透镜对电子束所产生的正球差相抵消，从而当电子束通过整个电子透镜装置或整个电子显微镜系统后便能够减小甚至消除由电子透镜所产生的球差，提高了电子显微镜空间分辨率。另外，本发明在电子束路径上的设备器件占用空间更小、重量更轻，有利于电子透镜装置和电子显微镜系统的装配和调节以及降低设备成本。
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公开(公告)号：CN117766365A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311737884.4
申请日：2023-12-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统，该系统对应的方法包括：利用电子枪产生初始电子束；对初始电子束进行压缩或加速，得到第一电子束；对第一电子束中的电子进行能散降低或加速操作，得到第二电子束；对第二电子束电子的横向尺寸进行整形处理，得到第三电子束；利用探测器对第三电子束中经过待探测的样品后散射的电子进行成像。本发明可解决商用直流电镜能量低、传统高能直流电镜体积大、微波加速电子显微系统流强低、能散大的问题。
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公开(公告)号：CN112764080A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011586938.8
申请日：2020-12-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种核素检测装置和核素检测方法，该装置包括：逆康普顿散射伽马射线源，用于产生单色、双色或多色伽马射线；第一屏蔽体，开设有供伽马射线穿过的第一开孔；第二屏蔽体，开设有供伽马射线穿过第二开孔，被检测样品位于第一开孔和第二开孔之间，伽马射线从第一屏蔽体远离被检测样品的一侧沿第一开孔的轴线经由第一开孔照射于被检测样品；检测片，位于第二屏蔽体远离被检测样品的一侧，以接收经过第二开孔的伽马射线；探测器，位于第二屏蔽体和检测片之间，以接收检测片所产生核共振荧光光子。采用本发明技术方案一方面无需直接接触被检测样品，另一方面利用双色或多色伽马射线提升了检测效率，实现了对被测样品的高效间接无损检测。
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公开(公告)号：CN111613679A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010483963.7
申请日：2020-06-01
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/028 , H01L27/146
Abstract: 本发明公开了一种电子成像探测器及其制备方法，以及采用该电子成像探测器的电子显微成像系统。该电子成像探测器包括：探测器灵敏区，由金刚石材料构成，具有相对而设的第一表面和第二表面；平面电极，设置于第一表面；像素电极，设置于第二表面。本发明中，由于探测器灵敏区所采用的金刚石材料在室温下具有禁带宽度大、电阻率高、抗辐照性能强等特点，因此，不需要通过掺杂等工艺形成的PN结，降低了制备复杂程度。同时，由于金刚石材料的原子序数小、电子散射小，进而降低了电子成像探测器中电子的散射，提高了电子探测的位置分辨率，从而能够获得更加清晰的图像。
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