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公开(公告)号：CN105783745B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610250696.2
申请日：2016-04-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种球面透镜测量装置，其包括：一激光模组，用于连续输出激光；一分光镜，设置于所述激光光路；一声光移频模组，设置于所述分光镜输出的透射光光路上形成测量光；一光阑和一扩束镜分别设置于所述测量光光路上形成扩束光；一测量模组，包括第一测量镜和第二测量镜，第一测量镜和第二测量镜轮流设置于所述扩束光光路上，用于形成会聚光束；一待测透镜，设置于所述会聚光束的光路上；一光电探测器，设置于所述分光镜输出的反射光的光路上；一参考信号模组与所述声光移频模组相连，一信号处理模组分别与所述光电探测器和所述参考信号模相连，一计算机，与所述信号处理模组和所述测量模组相连。本发明进一步涉及一种球面透镜的测量方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106949842B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201710277404.9
申请日：2017-04-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少三束光，且三束光频率不同；汇聚模块，用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上，且接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。
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公开(公告)号：CN106949842A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710277404.9
申请日：2017-04-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少三束光，且三束光频率不同；汇聚模块，用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上，且接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。
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公开(公告)号：CN107121071B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201710277410.4
申请日：2017-04-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少两束光，且两束光频率不同；汇聚模块，用于对至少两束光进行汇聚后入射至待测目标上，且两束光在待测目标上相交，并接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。
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公开(公告)号：CN107121071A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710277410.4
申请日：2017-04-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少两束光，且两束光频率不同；汇聚模块，用于对至少两束光进行汇聚后入射至待测目标上，且两束光在待测目标上相交，并接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。
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公开(公告)号：CN105783745A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610250696.2
申请日：2016-04-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种球面透镜测量装置，其包括：一激光模组，用于连续输出激光；一分光镜，设置于所述激光光路；一声光移频模组，设置于所述分光镜输出的透射光光路上形成测量光；一光阑和一扩束镜分别设置于所述测量光光路上形成扩束光；一测量模组，包括第一测量镜和第二测量镜，第一测量镜和第二测量镜轮流设置于所述扩束光光路上，用于形成会聚光束；一待测透镜，设置于所述会聚光束的光路上；一光电探测器，设置于所述分光镜输出的反射光的光路上；一参考信号模组与所述声光移频模组相连，一信号处理模组分别与所述光电探测器和所述参考信号模相连，一计算机，与所述信号处理模组和所述测量模组相连。本发明进一步涉及一种球面透镜的测量方法。
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