公开(公告)号：CN107121071B

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201710277410.4

申请日：2017-04-25

Applicant: 清华大学

Inventor： 谈宜东 ,  卢悦越 ,  朱开毅 ,  郭波 ,  张韶辉 ,  张书练

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少两束光，且两束光频率不同；汇聚模块，用于对至少两束光进行汇聚后入射至待测目标上，且两束光在待测目标上相交，并接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。

公开(公告)号：CN107121071A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710277410.4

申请日：2017-04-25

Applicant: 清华大学

Inventor： 谈宜东 ,  卢悦越 ,  朱开毅 ,  郭波 ,  张韶辉 ,  张书练

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少两束光，且两束光频率不同；汇聚模块，用于对至少两束光进行汇聚后入射至待测目标上，且两束光在待测目标上相交，并接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。

公开(公告)号：CN106949842B

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201710277404.9

申请日：2017-04-25

Applicant: 清华大学

Inventor： 谈宜东 ,  郭波 ,  朱开毅 ,  卢悦越 ,  张书练

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少三束光，且三束光频率不同；汇聚模块，用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上，且接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。

公开(公告)号：CN106949842A

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201710277404.9

申请日：2017-04-25

Applicant: 清华大学

Inventor： 谈宜东 ,  郭波 ,  朱开毅 ,  卢悦越 ,  张书练

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少三束光，且三束光频率不同；汇聚模块，用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上，且接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。