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公开(公告)号：CN104736661B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201380055450.4
申请日：2013-09-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/06 , C09K11/7774 , H01J63/04
Abstract: 本发明的紫外光产生用靶，包括透射紫外光的基板和设置在基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包括粉末状或颗粒状的且被添加有活化剂的、含有Lu和Si的氧化物结晶(例如Pr：LPS结晶或Pr：LSO结晶)。
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公开(公告)号：CN104755584B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380055584.6
申请日：2013-09-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/06 , B05D5/061 , C09K11/7774 , C09K2211/1416 , H01J9/221
Abstract: 一种紫外光产生用靶，其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含为粉末状或粒状的添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石晶体。发光层的紫外发光峰值波长为300nm以下。
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公开(公告)号：CN103502392A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280020466.7
申请日：2012-04-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/02 , C09K11/7774 , G01J1/429 , G01N21/64 , H01J29/20 , H01J63/04 , H01J63/06
Abstract: 紫外光产生用靶（20），具备：由蓝宝石、石英或水晶构成的基板（21）；以及设置在基板（21）上并接受电子射线而产生紫外光的发光层（22）。发光层（22）包含粉末状或粒状的Pr︰LuAG晶体。通过将这样的发光层（22）使用在靶中，与使用Pr︰LuAG单晶膜的情况相比能够更显著地提高紫外光产生效率。
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公开(公告)号：CN115943478A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202180051154.1
申请日：2021-06-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J40/06
Abstract: 本发明的光电面电子源(1)具备：玻璃基板(40)，其自包含微透镜(41)的基板受光面(50a)接收激光(101)，且使激光(101)朝向与基板受光面(50a)为相反侧的基板主面(43)会聚；光电面(50)，其设置于基板主面(43)，且接收经会聚的激光(101)并放出光电子(102)；及引出电极(60)，其固定于基板主面(43)，且自光电面(50)引出光电子(102)。引出电极(60)具有：电极部(62)，其沿基板主面(43)的法线方向(N)与光电面(50)分开而配置，且设置有使光电子(102)通过的电极孔(62H)；及框部(61)，其在基板主面(43)上固定于包围光电面(50)的区域。
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公开(公告)号：CN104736661A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380055450.4
申请日：2013-09-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/06 , C09K11/7774 , H01J63/04
Abstract: 本发明的紫外光产生用靶，包括透射紫外光的基板和设置在基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包括粉末状或颗粒状的且被添加有活化剂的、含有Lu和Si的氧化物结晶(例如Pr：LPS结晶或Pr：LSO结晶)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104755583B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201380055517.4
申请日：2013-09-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/06 , C09K11/7774 , C23C16/40 , H01J63/04
Abstract: 一种紫外光产生用靶，其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含由添加有活化剂的含有Lu和Si的氧化物多晶构成的多晶膜、或者包含由添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石多晶构成的多晶膜。
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公开(公告)号：CN103502392B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201280020466.7
申请日：2012-04-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/02 , C09K11/7774 , G01J1/429 , G01N21/64 , H01J29/20 , H01J63/04 , H01J63/06
Abstract: 紫外光产生用靶（20），具备：由蓝宝石、石英或水晶构成的基板（21）；以及设置在基板（21）上并接受电子射线而产生紫外光的发光层（22）。发光层（22）包含粉末状或粒状的Pr︰LuAG晶体。通过将这样的发光层（22）使用在靶中，与使用Pr︰LuAG单晶膜的情况相比能够更显著地提高紫外光产生效率。
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公开(公告)号：CN104755583A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380055517.4
申请日：2013-09-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/06 , C09K11/7774 , C23C16/40 , H01J63/04
Abstract: 一种紫外光产生用靶，其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含由添加有活化剂的含有Lu和Si的氧化物多晶构成的多晶膜、或者包含由添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石多晶构成的多晶膜。
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公开(公告)号：CN115956281A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202180051374.4
申请日：2021-06-09
Applicant: 浜松光子学株式会社 , 纽富来科技股份有限公司
IPC: H01J37/073
Abstract: 本发明的光电面电子源(1)包含：玻璃基板(40)，其接收自基板背面(44)入射的光(101)，自基板主面(43)出射激光(101)；光电面(50)，其设置于基板主面(43)，且接收激光(101)而放出光电子(102)；透镜阵列(41S)，其配置于基板背面(44)，包含用以使激光(101)向光电面(50)聚光的多个微透镜(41)；及遮光部(70)，其设置于玻璃基板(40)。遮光部(70)具有设置于基板背面(44)上由多个微透镜(41)所夹的背面侧遮光面(72)的背面侧遮光层(73)，与设置于主面侧遮光面(75)的主面侧遮光层(76)。
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