公开(公告)号：CN115956281A

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202180051374.4

申请日：2021-06-09

Applicant: 浜松光子学株式会社 ,  纽富来科技股份有限公司

Inventor： 平野友彦 ,  武富浩幸 ,  须山本比吕 ,  松平涉 ,  影山明广 ,  岩崎光太 ,  山田拓

IPC: H01J37/073

Abstract: 本发明的光电面电子源(1)包含：玻璃基板(40)，其接收自基板背面(44)入射的光(101)，自基板主面(43)出射激光(101)；光电面(50)，其设置于基板主面(43)，且接收激光(101)而放出光电子(102)；透镜阵列(41S)，其配置于基板背面(44)，包含用以使激光(101)向光电面(50)聚光的多个微透镜(41)；及遮光部(70)，其设置于玻璃基板(40)。遮光部(70)具有设置于基板背面(44)上由多个微透镜(41)所夹的背面侧遮光面(72)的背面侧遮光层(73)，与设置于主面侧遮光面(75)的主面侧遮光层(76)。

公开(公告)号：CN115943478A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202180051154.1

申请日：2021-06-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 平野友彦 ,  武富浩幸 ,  须山本比吕 ,  松平涉 ,  影山明广 ,  岩崎光太 ,  山田拓

IPC: H01J40/06

Abstract: 本发明的光电面电子源(1)具备：玻璃基板(40)，其自包含微透镜(41)的基板受光面(50a)接收激光(101)，且使激光(101)朝向与基板受光面(50a)为相反侧的基板主面(43)会聚；光电面(50)，其设置于基板主面(43)，且接收经会聚的激光(101)并放出光电子(102)；及引出电极(60)，其固定于基板主面(43)，且自光电面(50)引出光电子(102)。引出电极(60)具有：电极部(62)，其沿基板主面(43)的法线方向(N)与光电面(50)分开而配置，且设置有使光电子(102)通过的电极孔(62H)；及框部(61)，其在基板主面(43)上固定于包围光电面(50)的区域。