公开(公告)号：CN103502392A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201280020466.7

申请日：2012-04-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 本多庆范 ,  福世文嗣 ,  笠松雄治 ,  铃木孝 ,  服部刚明 ,  河合浩司 ,  楚树成 ,  武富浩幸

IPC: C09K11/80 ,  H01J63/06

CPC classification number: H01J63/02 ,  C09K11/7774 ,  G01J1/429 ,  G01N21/64 ,  H01J29/20 ,  H01J63/04 ,  H01J63/06

Abstract: 紫外光产生用靶（20），具备：由蓝宝石、石英或水晶构成的基板（21）；以及设置在基板（21）上并接受电子射线而产生紫外光的发光层（22）。发光层（22）包含粉末状或粒状的Pr︰LuAG晶体。通过将这样的发光层（22）使用在靶中，与使用Pr︰LuAG单晶膜的情况相比能够更显著地提高紫外光产生效率。

公开(公告)号：CN103502392B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201280020466.7

申请日：2012-04-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 本多庆范 ,  福世文嗣 ,  笠松雄治 ,  铃木孝 ,  服部刚明 ,  河合浩司 ,  楚树成 ,  武富浩幸

IPC: C09K11/80 ,  H01J63/06

CPC classification number: H01J63/02 ,  C09K11/7774 ,  G01J1/429 ,  G01N21/64 ,  H01J29/20 ,  H01J63/04 ,  H01J63/06

Abstract: 紫外光产生用靶（20），具备：由蓝宝石、石英或水晶构成的基板（21）；以及设置在基板（21）上并接受电子射线而产生紫外光的发光层（22）。发光层（22）包含粉末状或粒状的Pr︰LuAG晶体。通过将这样的发光层（22）使用在靶中，与使用Pr︰LuAG单晶膜的情况相比能够更显著地提高紫外光产生效率。