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公开(公告)号：CN1918686A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200580004703.0
申请日：2005-02-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明涉及具有用于可容易地实现高检测精度和微细加工的构造的光电倍增器及其制造方法。该光电倍增器(1a)具备内部维持在真空的外围器(2，3，4)，在该外围器(2，3，4)内配置有根据入射光而放出电子的光电面(22)、将从该光电面(22)放出的电子串级倍增的电子倍增部(31)、用于取出由该电子倍增部(31)生成的二次电子的阳极(32)。上述外围器(2，3，4)的一部分由具有平坦部的玻璃基板(20，40)构成，在该玻璃基板(20，40)上的平坦部上以二维方式分别配置有上述电子倍增部(31)和阳极(32)。
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公开(公告)号：CN115956281A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202180051374.4
申请日：2021-06-09
Applicant: 浜松光子学株式会社 , 纽富来科技股份有限公司
IPC: H01J37/073
Abstract: 本发明的光电面电子源(1)包含：玻璃基板(40)，其接收自基板背面(44)入射的光(101)，自基板主面(43)出射激光(101)；光电面(50)，其设置于基板主面(43)，且接收激光(101)而放出光电子(102)；透镜阵列(41S)，其配置于基板背面(44)，包含用以使激光(101)向光电面(50)聚光的多个微透镜(41)；及遮光部(70)，其设置于玻璃基板(40)。遮光部(70)具有设置于基板背面(44)上由多个微透镜(41)所夹的背面侧遮光面(72)的背面侧遮光层(73)，与设置于主面侧遮光面(75)的主面侧遮光层(76)。
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公开(公告)号：CN115943478A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202180051154.1
申请日：2021-06-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J40/06
Abstract: 本发明的光电面电子源(1)具备：玻璃基板(40)，其自包含微透镜(41)的基板受光面(50a)接收激光(101)，且使激光(101)朝向与基板受光面(50a)为相反侧的基板主面(43)会聚；光电面(50)，其设置于基板主面(43)，且接收经会聚的激光(101)并放出光电子(102)；及引出电极(60)，其固定于基板主面(43)，且自光电面(50)引出光电子(102)。引出电极(60)具有：电极部(62)，其沿基板主面(43)的法线方向(N)与光电面(50)分开而配置，且设置有使光电子(102)通过的电极孔(62H)；及框部(61)，其在基板主面(43)上固定于包围光电面(50)的区域。
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公开(公告)号：CN100555553C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200580004703.0
申请日：2005-02-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明涉及具有用于可容易地实现高检测精度和微细加工的构造的光电倍增器及其制造方法。该光电倍增器(1a)具备内部维持在真空的外围器(2，3，4)，在该外围器(2，3，4)内配置有根据入射光而放出电子的光电面(22)、将从该光电面(22)放出的电子串级倍增的电子倍增部(31)、用于取出由该电子倍增部(31)生成的二次电子的阳极(32)。上述外围器(2，3，4)的一部分由具有平坦部的玻璃基板(20，40)构成，在该玻璃基板(20，40)上的平坦部上以二维方式分别配置有上述电子倍增部(31)和阳极(32)。
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公开(公告)号：CN1922710B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200580005168.0
申请日：2005-02-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/24
Abstract: 本发明涉及一种实现高倍增效率的微细结构的光电子倍增器。该光电子倍增器包括内部维持真空的外围器，在该外围器内，配置有放射对应入射光的光电子的光电面，级联倍增从该光电面射出的光电子的电子倍增部，用于取出由该电子倍增部生成的二次电子的阳极。特别是，在电子倍增部，形成有用于级联倍增来自光电面的光电子的槽部，规定该槽部的一对壁部(311)的各表面上，设有在表面上形成有二次电子射出面的1个或1个以上的凸部(311a)。
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