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公开(公告)号：CN110023724B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201780073822.4
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L27/146 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接；与基板的表面相对的光吸收层；和配置于第1配线层和第2配线层各自与光吸收层之间的隔离层，光吸收层包括：第1区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第1配线层的与第2配线层相反的一侧扩展；和第2区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第2配线层的与第1配线层相反的一侧扩展。
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公开(公告)号：CN110998254A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051185.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144
Abstract: 光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。
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公开(公告)号：CN110023725A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073839.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括：基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续地延伸。
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公开(公告)号：CN110998254B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201880051185.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144
Abstract: 光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。
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公开(公告)号：CN110023724A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073822.4
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L27/146 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接；与基板的表面相对的光吸收层；和配置于第1配线层和第2配线层各自与光吸收层之间的隔离层，光吸收层包括：第1区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第1配线层的与第2配线层相反的一侧扩展；和第2区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第2配线层的与第1配线层相反的一侧扩展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107209055A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680005713.4
申请日：2016-01-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , G01N21/3581 , G01R29/08 , H01Q19/30
CPC classification number: G01N21/3581 , G01J1/02 , G01J1/0252 , G01J3/42 , G01J5/045 , G01J5/08 , G01J5/0837 , G01J5/20 , G01J5/24 , G01R29/08 , H01Q1/24 , H01Q1/38 , H01Q19/30
Abstract: 本发明的辐射热计型THz检测器具备接收并放射波长λ的THz波的指向性天线(1)、与指向性天线(1)相对配置的收信天线(2)、及检测由流经收信天线(2)的电流引起的发热的辐射热计(4)，且指向性天线(1)在俯视时与收信天线(2)重叠，指向性天线(1)的长度方向长被设定为比收信天线(2)的长度方向长要短。
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公开(公告)号：CN110023725B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201780073839.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括：基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续地延伸。
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公开(公告)号：CN111033192A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051197.8
申请日：2018-07-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02
Abstract: 光检测器具备光检测元件和参考元件。参考元件具有第二基板和以在与第二基板的第二表面之间形成空隙的方式配置于第二表面上的第二膜体。第二膜体包含经由沿着第二线延伸的第二间隙相互相对的一对第二配线层和与一对第二配线层分别电连接，且具有依赖于温度的电阻的第二电阻层。从与第二表面垂直的方向观察的情况下的第二膜体的外形呈现多边形状。第二线在从与第二表面垂直的方向观察的情况下，在夹着第二膜体的重心位置而相对的对角间延伸。
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公开(公告)号：CN110352335A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201880014772.7
申请日：2018-02-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测器具备：支撑基板；与支撑基板形成容纳空间的光透过基板；位于容纳空间且具有测辐射热计层的光检测元件；具有第一角部的第一基底层；具有第二角部的第二基底层；配置在第一基底层和第二基底层之间，将支撑基板和光透过基板互相固定并且气密地密封容纳空间的焊料层；以及通过与焊料层相同的材料与焊料层一体地形成的加强部，加强部在第一角部和第二角部的内侧到达第一表面侧和第二表面侧的至少一方。
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公开(公告)号：CN107209055B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201680005713.4
申请日：2016-01-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , G01N21/3581 , G01R29/08 , H01Q19/30
Abstract: 本发明的辐射热计型THz检测器具备接收并放射波长λ的THz波的指向性天线(1)、与指向性天线(1)相对配置的收信天线(2)、及检测由流经收信天线(2)的电流引起的发热的辐射热计(4)，且指向性天线(1)在俯视时与收信天线(2)重叠，指向性天线(1)的长度方向长被设定为比收信天线(2)的长度方向长要短。
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