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公开(公告)号：CN109798819B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN201910226106.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
Abstract: 本发明公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆，电液放大器内部设有腔体，腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端，小直径段设有压电陶瓷，变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小，活塞沿大直径段做轴向运动；腔体在活塞与压电陶瓷之间充满液体；连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于电液放大器的活塞和探针头。测量方法包括采用三自由度结构，将刚性探针头作用在被测物体表面上，通过3组连杆及电液放大器，将被测物体的空间位移，转换成三组电压信号，通过对三组电压信号的解耦，分析计算出被测物体的实际位移。
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公开(公告)号：CN109883639B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201910226045.3
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
IPC: G01M7/06
Abstract: 本发明公开了一种三自由度电液控制式微激振系统，包括底座、激振平台和三个激振臂，三个所述激振臂沿周向间隔布置。所述激振臂包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置。该微激振系统可以实现前后、左右、上下多个方向的振动激励，激励平台的输出具有3个平移自由度，具备主激振驱动模式下的大幅度激振，以及辅激振驱动模式下的精确微激振，以满足激振精度的需求。
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公开(公告)号：CN109782690B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910226025.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种双驱动电液控制式精密进给系统，包括外缸套、变截面缸、塞套、端盖以及主驱动装置、辅驱动装置。主驱动装置包括一体式结构的主压电陶瓷驱动器和主圆环形挡板，主圆环形挡板通过主柔性铰链连接于外缸套和变截面缸；微驱动装置包括一体式结构的辅压电陶瓷驱动器和辅圆形挡板，辅圆形挡板通过辅柔性铰链连接于变截面缸。该进给系统可以实现精确进给位移量，且在微位移条件下，有利于延长柔性铰链结构的使用寿命。本发明还公开了相应的控制方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109798819A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910226106.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
Abstract: 本发明公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆，电液放大器内部设有腔体，腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端，小直径段设有压电陶瓷，变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小，活塞沿大直径段做轴向运动；腔体在活塞与压电陶瓷之间充满液体；连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于电液放大器的活塞和探针头。测量方法包括采用三自由度结构，将刚性探针头作用在被测物体表面上，通过3组连杆及电液放大器，将被测物体的空间位移，转换成三组电压信号，通过对三组电压信号的解耦，分析计算出被测物体的实际位移。
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公开(公告)号：CN109782690A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910226025.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种双驱动电液控制式精密进给系统，包括外缸套、变截面缸、塞套、端盖以及主驱动装置、辅驱动装置。主驱动装置包括一体式结构的主压电陶瓷驱动器和主圆环形挡板，主圆环形挡板通过主柔性铰链连接于外缸套和变截面缸；微驱动装置包括一体式结构的辅压电陶瓷驱动器和辅圆形挡板，辅圆形挡板通过辅柔性铰链连接于变截面缸。该进给系统可以实现精确进给位移量，且在微位移条件下，有利于延长柔性铰链结构的使用寿命。本发明还公开了相应的控制方法。
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公开(公告)号：CN109931858B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201910226042.X
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
Abstract: 本发明公开了一种双自由度电液控制式微位移系统，包括呈“山”字型结构的基座以及执行机构，基座包括位于两侧的支撑臂和位于中间的凸台，两个支撑臂与凸台之间均设有凹部，执行机构的两端分别通过第二柔性铰链连接于两个支撑臂以及执行机构上对应两个凹部的位置分别设有第一柔性铰链。基座的凹部设有电液放大模块，电液放大模块包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置。该微位移系统可以实现精确进给位移量并可实现精确定位，且在微位移条件下，有利于延长柔性铰链结构的使用寿命。
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公开(公告)号：CN109931858A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910226042.X
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
Abstract: 本发明公开了一种双自由度电液控制式微位移系统，包括呈“山”字型结构的基座以及执行机构，基座包括位于两侧的支撑臂和位于中间的凸台，两个支撑臂与凸台之间均设有凹部，执行机构的两端分别通过第二柔性铰链连接于两个支撑臂以及执行机构上对应两个凹部的位置分别设有第一柔性铰链。基座的凹部设有电液放大模块，电液放大模块包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置。该微位移系统可以实现精确进给位移量并可实现精确定位，且在微位移条件下，有利于延长柔性铰链结构的使用寿命。
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公开(公告)号：CN109883639A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910226045.3
申请日：2019-03-25
Applicant: 浙江大学宁波理工学院
IPC: G01M7/06
Abstract: 本发明公开了一种三自由度电液控制式微激振系统，包括底座、激振平台和三个激振臂，三个所述激振臂沿周向间隔布置。所述激振臂包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置。该微激振系统可以实现前后、左右、上下多个方向的振动激励，激励平台的输出具有3个平移自由度，具备主激振驱动模式下的大幅度激振，以及辅激振驱动模式下的精确微激振，以满足激振精度的需求。
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