探针式测量系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN109781047B

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN201910226082.4

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明公开了一种探针式测量系统,包括基座、伺服电机、支架、两个测量臂、柔性铰链和探针头,伺服电机固定安装于基座,伺服电机的输出端连接有丝杆;基座设有导槽,支架在丝杆的传动作用下沿导槽做直线运动;测量臂的一端连接于支架,测量臂的另一端连接于柔性铰链,两个测量臂沿支架的中心线以及柔性铰链的中心线对称设置,以及两个测量臂的中心线在柔性铰链的相交处呈锐角;柔性铰链的底部连接于探针头。该测量系统采用分位移矢量合成的方式及其相应的结构实现对特征点的两自由度(平面)的微小位移的精密测量。本发明还提供了该探针式测量系统相应的测量方法。

    基于电液放大的三自由度精密微位移探针及其测量方法

    公开(公告)号:CN109798819B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN201910226106.6

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针,包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆,电液放大器内部设有腔体,腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段,小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端,小直径段设有压电陶瓷,变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小,活塞沿大直径段做轴向运动;腔体在活塞与压电陶瓷之间充满液体;连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于电液放大器的活塞和探针头。测量方法包括采用三自由度结构,将刚性探针头作用在被测物体表面上,通过3组连杆及电液放大器,将被测物体的空间位移,转换成三组电压信号,通过对三组电压信号的解耦,分析计算出被测物体的实际位移。

    双联阀控对称式电液激振器及其电液激振系统和偏置控制方法

    公开(公告)号:CN108571496B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201810364672.9

    申请日:2018-04-23

    Abstract: 本发明公开了一种双联阀控对称式电液激振器,包括液压执行元件和用于控制所述液压执行元件动作的激振控制阀;激振控制阀包括两个转阀;转阀包括阀体,阀体上设有进油口组和回油口组,进油口组包括第一进油口和第二进油口,回油口组包括第一回油口和第二回油口;阀体内套装设有阀套,阀套内设有阀芯;阀体的一端设有直线电机;两个转阀之间设有驱动机构;两个转阀的第一进油口分别与供油油路相连,两个转阀的第一回油口分别与回油油路相连;其中一个转阀的第二进油口与A油口相连、第二回油口与B油口相连;另一个转阀的第二进油口与B油口相连、第二回油口与A油口相连。本发明还公开了一种双联阀控对称式电液激振系统及偏置控制方法。

    基于电液放大的三自由度精密微位移探针及其测量方法

    公开(公告)号:CN109798819A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201910226106.6

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针,包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆,电液放大器内部设有腔体,腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段,小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端,小直径段设有压电陶瓷,变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小,活塞沿大直径段做轴向运动;腔体在活塞与压电陶瓷之间充满液体;连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于电液放大器的活塞和探针头。测量方法包括采用三自由度结构,将刚性探针头作用在被测物体表面上,通过3组连杆及电液放大器,将被测物体的空间位移,转换成三组电压信号,通过对三组电压信号的解耦,分析计算出被测物体的实际位移。

    探针式测量系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN109781047A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201910226082.4

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明公开了一种探针式测量系统,包括基座、伺服电机、支架、两个测量臂、柔性铰链和探针头,伺服电机固定安装于基座,伺服电机的输出端连接有丝杆;基座设有导槽,支架在丝杆的传动作用下沿导槽做直线运动;测量臂的一端连接于支架,测量臂的另一端连接于柔性铰链,两个测量臂沿支架的中心线以及柔性铰链的中心线对称设置,以及两个测量臂的中心线在柔性铰链的相交处呈锐角;柔性铰链的底部连接于探针头。该测量系统采用分位移矢量合成的方式及其相应的结构实现对特征点的两自由度(平面)的微小位移的精密测量。本发明还提供了该探针式测量系统相应的测量方法。

    双联阀控对称式电液激振器及其电液激振系统和偏置控制方法

    公开(公告)号:CN108571496A

    公开(公告)日:2018-09-25

    申请号:CN201810364672.9

    申请日:2018-04-23

    Abstract: 本发明公开了一种双联阀控对称式电液激振器,包括液压执行元件和用于控制所述液压执行元件动作的激振控制阀;激振控制阀包括两个转阀;转阀包括阀体,阀体上设有进油口组和回油口组,进油口组包括第一进油口和第二进油口,回油口组包括第一回油口和第二回油口;阀体内套装设有阀套,阀套内设有阀芯;阀体的一端设有直线电机;两个转阀之间设有驱动机构;两个转阀的第一进油口分别与供油油路相连,两个转阀的第一回油口分别与回油油路相连;其中一个转阀的第二进油口与A油口相连、第二回油口与B油口相连;另一个转阀的第二进油口与B油口相连、第二回油口与A油口相连。本发明还公开了一种双联阀控对称式电液激振系统及偏置控制方法。

    基于电液放大的三自由度精密微位移探针

    公开(公告)号:CN209341991U

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201920379655.2

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针,包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆,电液放大器内部设有腔体,腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段,小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端,小直径段设有压电陶瓷,变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小,活塞沿大直径段做轴向运动;腔体在活塞与压电陶瓷之间充满液体;连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于电液放大器的活塞和探针头。其采用三自由度结构,将刚性探针头作用在被测物体表面上,通过3组连杆及电液放大器,将被测物体的空间位移,转换成三组电压信号,通过对三组电压信号的解耦,分析计算出被测物体的实际位移。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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