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公开(公告)号：CN108803473B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201810503868.1
申请日：2018-05-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置，该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计，本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本发明可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小，同时不影响加速度测量，能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。
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公开(公告)号：CN112945219B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110166642.9
申请日：2021-02-04
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构。包含至少一组固定电极组和至少一个可动电极，每组固定电极组均由两个固定电极构成，两个固定电极形状均为直角梯形且尺寸相同，两个固定电极之间以直角边反向连接形成旋转对称结构；可动电极和固定电极组平行间隔布置构成了变面积电容结构；通过调节可动电极和固定电极的几何参数来实现变面积电容结构的更大可调节微机械器件弹性系数。本发明能有效增强结构的弹性系数调节能力，在对可动电极和固定电极之间施加相同大小电压差的条件下，能够产生更强的弹性系数调节效果。
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公开(公告)号：CN112129278B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202010969373.5
申请日：2020-09-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种可减小由电容边缘效应导致的电容‑位移之间的非线性的栅结构，所述的栅结构的两个侧面与靠近金属电极的底面形成的夹角小于90°。本发明通过对微机械陀螺仪中的栅结构形状进行改进，将栅结构的两个垂直侧面优化为与底面形成夹角，可有效减小由电容边缘效应导致的电容‑位移之间的非线性。
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公开(公告)号：CN110426025A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910796784.6
申请日：2019-08-27
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种微机械陀螺实时自动模态匹配方法，本发明通过外加摄动信号的方法，利用微机械陀螺检测模态的输出相位特性，通过模态匹配模块对位移信号提取模块的输出信号进行上边带相位与下边带相位的求取，所得相位之和的二分之一与固定参考相位进行闭环控制得到调谐电压从而实现自动实时模态匹配；且避免了微机械陀螺电路的相位波动对模态匹配精度的影响。本发明通过闭环控制，无需外加调谐信号，具有实时自动且高精度的特性，对于外界的环境具有鲁棒性。
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公开(公告)号：CN111998842B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202010619978.1
申请日：2020-06-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种用于微机械陀螺检测模态接口电路相位延迟的在线实时自动补偿方法，属于微机械陀螺领域。本发明是在微机械陀螺检测模态受到科氏角速度力、同相零偏以及正交误差力作用的一般情况下提出的，具有通用性和普适性，检测模态的运动信号经过原始测量模块和同步辅助模块后分别得到原始测量输出值和同步辅助输出值，经组合运算进行实时在线补偿，实现最终测量输出信号与接口电路相位延迟无关，降低了微机械陀螺的测量漂移和不稳定。本发明可以实时自动提取并在线补偿电路延迟相位，无需人工调整，降低微机械陀螺的批量化生产的成本，且不影响正常测量过程；提取到的残余波动值也可以作为微机械陀螺温度的表征量以及补偿物理量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112945219A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110166642.9
申请日：2021-02-04
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开了一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构。包含至少一组固定电极组和至少一个可动电极，每组固定电极组均由两个固定电极构成，两个固定电极形状均为直角梯形且尺寸相同，两个固定电极之间以直角边反向连接形成旋转对称结构；可动电极和固定电极组平行间隔布置构成了变面积电容结构；通过调节可动电极和固定电极的几何参数来实现变面积电容结构的更大可调节微机械器件弹性系数。本发明能有效增强结构的弹性系数调节能力，在对可动电极和固定电极之间施加相同大小电压差的条件下，能够产生更强的弹性系数调节效果。
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公开(公告)号：CN112113553A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010967592.X
申请日：2020-09-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种陀螺全匹配调谐电极，将驱动模态和检测模态的调谐电极的栅结构均设置在中心质量块上，中心质量块可在驱动模态方向和检测模态方向上自由运动；所述驱动模态的调谐电极为两个，两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布且相互平行；所述检测模块的调谐电极为两个，两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布且相互平行；驱动模态的调谐电极的方向与检测模块的调谐电极的方向相互垂直。本发明的驱动模态和检测模态的调谐电极的栅结构直接设置在中心质量块上，使得中心质量块的质量占总质量的比重变大，陀螺仪的机械灵敏度会变大；而且在总面积一定的条件下，将调谐电极的栅结构放在中心质量块上能够充分利用中心质量块的空间。
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公开(公告)号：CN108803473A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810503868.1
申请日：2018-05-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置，该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计，本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本发明可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小，同时不影响加速度测量，能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。
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公开(公告)号：CN106975100A
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201610027779.5
申请日：2016-01-15
Applicant: 浙江大学
IPC: A61L26/00
CPC classification number: A61L26/0004 , A61L26/0061
Abstract: 本发明涉及一种氧化铈/介孔硅的纳米复合材料，包含配体转换的氧化铈纳米晶和氨基修饰的介孔硅纳米粒子，配体转换的氧化铈纳米晶修饰于氨基修饰的介孔硅纳米粒子的表面；配体转换的氧化铈纳米晶与氨基修饰的介孔硅纳米粒子的质量比为1～20；配体转换的氧化铈纳米晶利用2-溴代异丁酸进行配体转换。本发明还涉及氧化铈/介孔硅的纳米复合材料的制备方法及其在创伤愈合或组织修复中的应用。该复合材料能够平衡创面的活性氧自由基水平，降低炎症水平，利用纳米桥联效应发挥黏合作用；而且制备反应体系温和，条件可控，所制备的材料均具有良好的生物相容性，具有良好的临床转化可能性。
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公开(公告)号：CN109150133A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810622679.6
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: H03H9/02244 , H03H9/02393 , H03H9/02433 , H03H9/02448 , H03H9/30 , H03H9/467
Abstract: 本发明公开了一种鲁棒的微机械谐振器的运动信号提取方法，本发明通过上边带同相解调、上边带正交解调、下边带同相解调和下边带正交解调可以得到上边带幅度、上边带相位、下边带幅度和下边带相位，谐振器的谐振幅度信号为上边带幅度与下边带幅度之和的二分之一，谐振器的谐振相位信号为下边带相位与上边带相位之差的二分之一，从而可以消除环境因素和驱动频率对接口电路的幅度增益和相位滞后造成的影响，实现对环境的鲁棒性。本发明原理简单，能应用于微机械谐振器的运动信号提取，如微机械陀螺。
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