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公开(公告)号：CN109029409B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201810621975.4
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种可调谐栅结构微机械陀螺中的参量放大方法及其装置，该方法包括驱动信号产生、调谐信号产生、调谐信号放大、位移检测、幅度和相位提取五个步骤。该装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片。本发明利用了变面积式三角形电极实现调谐结构而不会引入软弹簧效应，利用现场可编程门阵列芯片产生根号形式的调谐电压信号，能够对直流调谐能力和参量放大能力进行分开设置。该方法可被应用于微机械陀螺的驱动模态或者检测模态，也可被应用于其他种类的微机械谐振器。
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公开(公告)号：CN106441359B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201610831729.2
申请日：2016-09-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种高精度的微机械陀螺现场模态匹配方法，该方法包括检测模态电容‑电压转换、零偏路信号和正交路信号提取、双路信号控制、平衡力产生、调谐信号产生五个步骤。本发明利用正交误差与角速度的相位特性来实现调谐，通过控制算法自动调节检测模态的谐振频率，能使两个振动模态实现谐振频率匹配。本发明无需手动施加调谐信号，由于工作在闭环控制环路中，能够快速高精度调谐，并且该算法与常规的力平衡控制环路相兼容，对外界角速度输入具有鲁棒性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109029409A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810621975.4
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种可调谐栅结构微机械陀螺中的参量放大方法及其装置，该方法包括驱动信号产生、调谐信号产生、调谐信号放大、位移检测、幅度和相位提取五个步骤。该装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片。本发明利用了变面积式三角形电极实现调谐结构而不会引入软弹簧效应，利用现场可编程门阵列芯片产生根号形式的调谐电压信号，能够对直流调谐能力和参量放大能力进行分开设置。该方法可被应用于微机械陀螺的驱动模态或者检测模态，也可被应用于其他种类的微机械谐振器。
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公开(公告)号：CN108803473A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810503868.1
申请日：2018-05-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置，该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计，本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本发明可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小，同时不影响加速度测量，能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。
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公开(公告)号：CN108803473B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201810503868.1
申请日：2018-05-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置，该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计，本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本发明可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小，同时不影响加速度测量，能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。
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公开(公告)号：CN106441359A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610831729.2
申请日：2016-09-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005
Abstract: 本发明公开了一种高精度的微机械陀螺现场模态匹配方法，该方法包括检测模态电容-电压转换、零偏路信号和正交路信号提取、双路信号控制、平衡力产生、调谐信号产生五个步骤。本发明利用正交误差与角速度的相位特性来实现调谐，通过控制算法自动调节检测模态的谐振频率，能使两个振动模态实现谐振频率匹配。本发明无需手动施加调谐信号，由于工作在闭环控制环路中，能够快速高精度调谐，并且该算法与常规的力平衡控制环路相兼容，对外界角速度输入具有鲁棒性。
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公开(公告)号：CN208459793U
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201820775847.0
申请日：2018-05-23
Applicant: 浙江大学
IPC: G05B19/04
Abstract: 本实用新型公开了一种微机械加速度计控制装置，包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计，本实用新型将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本实用新型可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小，同时不影响加速度测量，能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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