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公开(公告)号：CN110808296B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201911007238.6
申请日：2019-10-22
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/0304 , H01L31/103 , H01L31/18 , G01J1/42
Abstract: 本发明公开了一种双层半导体结构的光电导型深紫外单色光电探测器。包括由下至上依次叠置而成的绝缘衬底、窄带隙氮化硼薄膜和宽带隙氮化硼薄膜，绝缘衬底上表面覆盖有窄带隙氮化硼薄膜，窄带隙氮化硼薄膜上表面覆盖有宽带隙氮化硼薄膜；窄带隙氮化硼薄膜中埋设有两个栅状Ti金属电极；通过调节窄带隙氮化硼薄膜和宽带隙氮化硼薄膜的带隙以及两者之间的带隙差，在深紫外波段调节探测器的响应波长。本发明通过带隙不同的氮化硼层状结构，实现了单色光响应，探测效果好，单色性好，可以简单实现探测器响应波长和响应带宽，提高了电极对光生载流子的收集能力。
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公开(公告)号：CN110808296A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201911007238.6
申请日：2019-10-22
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/0304 , H01L31/103 , H01L31/18 , G01J1/42
Abstract: 本发明公开了一种双层半导体结构的光电导型深紫外单色光电探测器。包括由下至上依次叠置而成的绝缘衬底、窄带隙氮化硼薄膜和宽带隙氮化硼薄膜，绝缘衬底上表面覆盖有窄带隙氮化硼薄膜，窄带隙氮化硼薄膜上表面覆盖有宽带隙氮化硼薄膜；窄带隙氮化硼薄膜中埋设有两个栅状Ti金属电极；通过调节窄带隙氮化硼薄膜和宽带隙氮化硼薄膜的带隙以及两者之间的带隙差，在深紫外波段调节探测器的响应波长。本发明通过带隙不同的氮化硼层状结构，实现了单色光响应，探测效果好，单色性好，可以简单实现探测器响应波长和响应带宽，提高了电极对光生载流子的收集能力。
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公开(公告)号：CN110670017B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201911010999.7
申请日：2019-10-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种六方氮化硼薄膜制备时的带隙调控方法。在制备六方氮化硼薄膜过程中，通过控制六方氮化硼薄膜局域模态控制六方氮化硼薄膜带隙，局域模态包括局域c轴朝向、局域c面面积和局域c向层数，通过增大局域c轴与衬底平面夹角减小薄膜带隙，或者通过减小局域c面面积减小薄膜带隙，或者通过增加局域c向层数减小薄膜带隙。本发明方法实现了对六方氮化硼薄膜制备时进行带隙调控，以无毒无害的靶材和气体为原料，成本较低，设备简单。制备的六方氮化硼薄膜可用于紫外光传感、紫外发光、水体净化等领域。
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公开(公告)号：CN108155266A
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201711339458.X
申请日：2017-12-14
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/09 , H01L31/0224 , H01L31/035227 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种以暴露{001}晶面的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列为基底的紫外光探测器及方法。紫外光探测器主要由自上而下依次布置的钛片基底、暴露{001}晶面的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列和金属叉指电极组成；清洗钛片并烘干为基底，在钛片的基底上表面制作暴露{001}晶面的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列，再利用光刻、溅射、剥离工艺生长获得金属叉指电极，在金属叉指电极的两个电极分别点上银浆，利用铜导线将金属叉指电极的两个电极接到电路驱动系统的两端，得到紫外光探测器。本发明制备获得了二氧化钛的{001}晶面，具有更高的活性，本发明紫外光探测器具有高紫外光电响应度和高光暗电流比和光谱响应度。
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公开(公告)号：CN110670017A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201911010999.7
申请日：2019-10-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种六方氮化硼薄膜制备时的带隙调控方法。在制备六方氮化硼薄膜过程中，通过控制六方氮化硼薄膜局域模态控制六方氮化硼薄膜带隙，局域模态包括局域c轴朝向、局域c面面积和局域c向层数，通过增大局域c轴与衬底平面夹角减小薄膜带隙，或者通过减小局域c面面积减小薄膜带隙，或者通过增加局域c向层数减小薄膜带隙。本发明方法实现了对六方氮化硼薄膜制备时进行带隙调控，以无毒无害的靶材和气体为原料，成本较低，设备简单。制备的六方氮化硼薄膜可用于紫外光传感、紫外发光、水体净化等领域。
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