公开(公告)号：CN108155266A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711339458.X

申请日：2017-12-14

Applicant: 浙江大学

Inventor： 余爱翔 ,  李宇波 ,  杨杭生 ,  裘吕超 ,  王鹏涛 ,  叶思远 ,  杨建义

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/09 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/035227 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种以暴露{001}晶面的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列为基底的紫外光探测器及方法。紫外光探测器主要由自上而下依次布置的钛片基底、暴露{001}晶面的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列和金属叉指电极组成；清洗钛片并烘干为基底，在钛片的基底上表面制作暴露{001}晶面的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列，再利用光刻、溅射、剥离工艺生长获得金属叉指电极，在金属叉指电极的两个电极分别点上银浆，利用铜导线将金属叉指电极的两个电极接到电路驱动系统的两端，得到紫外光探测器。本发明制备获得了二氧化钛的{001}晶面，具有更高的活性，本发明紫外光探测器具有高紫外光电响应度和高光暗电流比和光谱响应度。