公开(公告)号：CN111799200A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010272604.7

申请日：2020-04-09

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  平田机工株式会社

Inventor： 江藤洋平 ,  国泽淳次 ,  本坊光朗 ,  金泽敬治

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明是输送装置、工件处理装置、输送装置的控制方法、存储程序的记录介质，抑制输送装置内的结露。输送装置具备：主体部；回旋部，该回旋部被设置为相对于所述主体部回旋自如；臂，该臂支承于所述回旋部；以及末端执行器，该末端执行器设置于所述臂的顶端部，并对工件进行保持，所述输送装置还具备：气体供给单元，该气体供给单元向所述末端执行器的臂侧基部和/或所述臂的顶端部的臂侧内部空间供给气体；以及排气单元，该排气单元设置在与所述臂侧内部空间连通的主体侧内部空间，并对所述臂侧内部空间和/或所述主体侧内部空间的气体进行排气。

公开(公告)号：CN107097145B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201710096031.5

申请日：2017-02-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丸山徹 ,  松尾尚典 ,  本岛靖之 ,  江藤洋平 ,  小松三教

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/10 ,  B24B37/20 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B55/03

Abstract: 本发明提供一种能够将研磨垫的表面温度保持在所期望的目标温度的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法。一种用于对研磨垫(3)的表面温度进行调整的装置，其具备：垫接触构件(11)，其可与研磨垫(3)的表面接触，且在内部形成有加热流路(61)和冷却流路(62)；加热液供给管(32)，其连接到加热流路(61)；冷却液供给管(51)，其连接到冷却流路(62)；第一流量控制阀(42)，其安装于加热液供给管(32)；第二流量控制阀(56)，其安装于冷却液供给管(51)；垫温度测定器(39)，其对研磨垫(3)的表面温度进行测定；以及阀控制部(40)，其基于研磨垫(3)的表面温度对第一流量控制阀(42)和第二流量控制阀(56)进行操作。

公开(公告)号：CN107097145A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201710096031.5

申请日：2017-02-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丸山徹 ,  松尾尚典 ,  本岛靖之 ,  江藤洋平 ,  小松三教

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/10 ,  B24B37/20 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B55/03

CPC classification number: B24B37/015 ,  B24B37/20 ,  B24B37/005 ,  B24B37/107 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B55/03

Abstract: 本发明提供一种能够将研磨垫的表面温度保持在所期望的目标温度的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法。一种用于对研磨垫(3)的表面温度进行调整的装置，其具备：垫接触构件(11)，其可与研磨垫(3)的表面接触，且在内部形成有加热流路(61)和冷却流路(62)；加热液供给管(32)，其连接到加热流路(61)；冷却液供给管(51)，其连接到冷却流路(62)；第一流量控制阀(42)，其安装于加热液供给管(32)；第二流量控制阀(56)，其安装于冷却液供给管(51)；垫温度测定器(39)，其对研磨垫(3)的表面温度进行测定；以及阀控制部(40)，其基于研磨垫(3)的表面温度对第一流量控制阀(42)和第二流量控制阀(56)进行操作。

公开(公告)号：CN105966916B

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201610132811.6

申请日：2016-03-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丸山徹 ,  本岛靖之 ,  江藤洋平

IPC: B65G49/06 ,  B65G47/90 ,  B25J15/00

Abstract: 提供一种基板输送用机械手，该基板输送用机械手能够将基板的卡紧时的颗粒的产生抑制在最小限度并能够防止液体流入到基板上，能够防止基板的污染。多个接受部件(3)具有：平板状的支承部，其为安装在机械手主体(1)上的部分；基板外周保持部(32)，其为由支承部支承的部分，保持基板的外周；以及基板下表面保持部(33)，其为由支承部支承的部分，保持基板的下表面，基板外周保持部(32)具有从支承部竖立设置且与基板的外周接触而保持基板的部分，基板下表面保持部(33)具有从所保持的基板的外周侧朝向内侧倾斜的部分，基板外周保持部(32)与基板下表面保持部(33)被间隙或者槽(35)隔离。

公开(公告)号：CN105966916A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610132811.6

申请日：2016-03-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丸山徹 ,  本岛靖之 ,  江藤洋平

IPC: B65G49/06 ,  B65G47/90 ,  B25J15/00

Abstract: 提供一种基板输送用机械手，该基板输送用机械手能够将基板的卡紧时的颗粒的产生抑制在最小限度并能够防止液体流入到基板上，能够防止基板的污染。多个接受部件(3)具有：平板状的支承部，其为安装在机械手主体(1)上的部分；基板外周保持部(32)，其为由支承部支承的部分，保持基板的外周；以及基板下表面保持部(33)，其为由支承部支承的部分，保持基板的下表面，基板外周保持部(32)具有从支承部竖立设置且与基板的外周接触而保持基板的部分，基板下表面保持部(33)具有从所保持的基板的外周侧朝向内侧倾斜的部分，基板外周保持部(32)与基板下表面保持部(33)被间隙或者槽(35)隔离。