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公开(公告)号:CN102472714B
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201080029423.6
申请日:2010-06-30
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207 , G21K1/02 , G21K1/06 , G21K3/00 , G21K5/02
CPC classification number: G21K1/06 , B82Y10/00 , G01J3/12 , G21K1/062 , G21K2201/064 , H01J2237/1205 , H01J2237/1516
Abstract: 本发明提供一种X射线装置、其使用方法以及X射线照射方法,该X射线装置产生能量宽度狭小的虚拟射线源,并能够进行高分解能力的X射线衍射测定。X射线装置(100)包括:分光器(105),该分光器将发散X射线一边进行分光一边进行集光;以及选择部(107),该选择部设置于被集光的X射线的集光位置,选择特定范围波长的X射线而使其通过,产生虚拟射线源。由此,能够在焦点(110)上产生具有狭小能量宽度的虚拟射线源,通过该虚拟射线源,能够进行高分解能力的X射线衍射测定。通过使用X射线装置(100),从而能够充分地分离例如Kα1射线和Kα2射线那样非常狭小能量宽度的X射线。此外,也能够切出连续的X射线的一部分而形成虚拟射线源。
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公开(公告)号:CN110223797A
公开(公告)日:2019-09-10
申请号:CN201910150250.6
申请日:2019-02-28
Applicant: 株式会社理学
Abstract: 本发明提供一种X射线产生装置和X射线分析装置,其能够利用简单的结构来实现电子束尺寸小的聚焦X射线电子束。X射线产生装置具备:线状X射线源;多层膜镜;以及并排反射镜,其以2片凹面镜共用接合线的方式彼此接合,所述X射线产生装置的特征在于,多层膜镜的反射面的截面具有抛物线形状,并且该抛物线形状的焦点位于线状X射线源,并排反射镜的2片凹面镜的反射面的截面各自具有抛物线形状,并且该抛物线形状的焦点分别位于多层膜镜的相反侧,在俯视观察下,所述并排反射镜的接合线的延长线贯穿多层膜镜以及线状X射线源。
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公开(公告)号:CN116868048B
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202180076558.6
申请日:2021-11-01
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223
Abstract: 本发明的课题在于提供一种分析灵敏度高且分析速度快的全反射荧光X射线分析装置。本发明的全反射荧光X射线分析装置具有:X射线源,其具有电子束焦点,该电子束焦点的与试样表面平行且与X射线照射方向正交的方向的有效宽度大于所述照射方向的尺寸;分光元件,其所述正交的方向的有效宽度大于电子束焦点,且具有沿所述照射方向弯曲的面;及检测器,其沿所述正交的方向排列多个而配置,测量自照射有利用所述分光元件所集光的所述X射线的所述试样产生的荧光X射线的强度。
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公开(公告)号:CN110223797B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN201910150250.6
申请日:2019-02-28
Applicant: 株式会社理学
Abstract: 本发明提供一种X射线产生装置和X射线分析装置,其能够利用简单的结构来实现电子束尺寸小的聚焦X射线电子束。X射线产生装置具备:线状X射线源;多层膜镜;以及并排反射镜,其以2片凹面镜共用接合线的方式彼此接合,所述X射线产生装置的特征在于,多层膜镜的反射面的截面具有抛物线形状,并且该抛物线形状的焦点位于线状X射线源,并排反射镜的2片凹面镜的反射面的截面各自具有抛物线形状,并且该抛物线形状的焦点分别位于多层膜镜的相反侧,在俯视观察下,所述并排反射镜的接合线的延长线贯穿多层膜镜以及线状X射线源。
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公开(公告)号:CN116868048A
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202180076558.6
申请日:2021-11-01
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223
Abstract: 本发明的课题在于提供一种分析灵敏度高且分析速度快的全反射荧光X射线分析装置。本发明的全反射荧光X射线分析装置具有:X射线源,其具有电子束焦点,该电子束焦点的与试样表面平行且与X射线照射方向正交的方向的有效宽度大于所述照射方向的尺寸;分光元件,其所述正交的方向的有效宽度大于电子束焦点,且具有沿所述照射方向弯曲的面;及检测器,其沿所述正交的方向排列多个而配置,测量自照射有利用所述分光元件所集光的所述X射线的所述试样产生的荧光X射线的强度。
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公开(公告)号:CN102472714A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080029423.6
申请日:2010-06-30
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207 , G21K1/02 , G21K1/06 , G21K3/00 , G21K5/02
CPC classification number: G21K1/06 , B82Y10/00 , G01J3/12 , G21K1/062 , G21K2201/064 , H01J2237/1205 , H01J2237/1516
Abstract: 本发明提供一种X射线装置、其使用方法以及X射线照射方法,该X射线装置产生能量宽度狭小的虚拟射线源,并能够进行高分解能力的X射线衍射测定。X射线装置(100)包括:分光器(105),该分光器将发散X射线一边进行分光一边进行集光;以及选择部(107),该选择部设置于被集光的X射线的集光位置,选择特定范围波长的X射线而使其通过,产生虚拟射线源。由此,能够在焦点(110)上产生具有狭小能量宽度的虚拟射线源,通过该虚拟射线源,能够进行高分解能力的X射线衍射测定。通过使用X射线装置(100),从而能够充分地分离例如Kα1射线和Kα2射线那样非常狭小能量宽度的X射线。此外,也能够切出连续的X射线的一部分而形成虚拟射线源。
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