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公开(公告)号：CN110223797A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910150250.6
申请日：2019-02-28
Applicant: 株式会社理学
Abstract: 本发明提供一种X射线产生装置和X射线分析装置，其能够利用简单的结构来实现电子束尺寸小的聚焦X射线电子束。X射线产生装置具备：线状X射线源；多层膜镜；以及并排反射镜，其以2片凹面镜共用接合线的方式彼此接合，所述X射线产生装置的特征在于，多层膜镜的反射面的截面具有抛物线形状，并且该抛物线形状的焦点位于线状X射线源，并排反射镜的2片凹面镜的反射面的截面各自具有抛物线形状，并且该抛物线形状的焦点分别位于多层膜镜的相反侧，在俯视观察下，所述并排反射镜的接合线的延长线贯穿多层膜镜以及线状X射线源。
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公开(公告)号：CN109313145A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035084.4
申请日：2017-07-12
Applicant: 株式会社理学
Inventor： 尾形洁 , 表和彦 , 吉原正 , 伊藤义泰 , 本野宽 , 高桥秀明 , 杵渕隆男 , 樋口明房 , 梅垣志朗 , 浅野繁松 , 山口僚太郎 , 洞田克隆 , 神户亮 , 姜立才 , B·韦尔曼
IPC: G01N23/207 , G21K1/06 , G21K5/02
Abstract: 在根据本发明的X射线检查设备中，X射线照射单元40包括用于在垂直方向上聚焦特征X射线的第一X射线光学元件42，以及用于在水平方向上聚焦特征X射线的第二X射线光学元件43。第一X射线光学元件42由具有高结晶度的晶体材料构成。第二X射线光学元件包括多层镜。
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公开(公告)号：CN106461579A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580019383.X
申请日：2015-01-14
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
CPC classification number: G01N23/20008 , G01N23/205 , G01N23/207 , G01N2223/056
Abstract: 针对从试样(S)衍射来的聚光X射线(2)，根据布拉格条件用单色仪(60)仅使特定波长的X射线反射，进而通过受光狭缝(30)，利用X射线检测器(20)进行检测。单色仪(60)做成装卸自如，配置于使来自试样(S)的聚光X射线(2)直接地收敛时的聚光点(2a)与该试样(S)之间。此时，单色仪(60)由内部的栅格面间隔从一端到另一端连续地变化的多层膜反射镜构成。(60)尽可能接近上述聚光点(2a)。另外，单色仪
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公开(公告)号：CN110223797B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN201910150250.6
申请日：2019-02-28
Applicant: 株式会社理学
Abstract: 本发明提供一种X射线产生装置和X射线分析装置，其能够利用简单的结构来实现电子束尺寸小的聚焦X射线电子束。X射线产生装置具备：线状X射线源；多层膜镜；以及并排反射镜，其以2片凹面镜共用接合线的方式彼此接合，所述X射线产生装置的特征在于，多层膜镜的反射面的截面具有抛物线形状，并且该抛物线形状的焦点位于线状X射线源，并排反射镜的2片凹面镜的反射面的截面各自具有抛物线形状，并且该抛物线形状的焦点分别位于多层膜镜的相反侧，在俯视观察下，所述并排反射镜的接合线的延长线贯穿多层膜镜以及线状X射线源。
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公开(公告)号：CN106461579B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201580019383.X
申请日：2015-01-14
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
Abstract: 针对从试样(S)衍射来的聚光X射线(2)，根据布拉格条件用单色仪(60)仅使特定波长的X射线反射，进而通过受光狭缝(30)，利用X射线检测器(20)进行检测。单色仪(60)做成装卸自如，配置于使来自试样(S)的聚光X射线(2)直接地收敛时的聚光点(2a)与该试样(S)之间。此时，单色仪(60)尽可能接近上述聚光点(2a)。另外，单色仪(60)由内部的栅格面间隔从一端到另一端连续地变化的多层膜反射镜构成。
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