公开(公告)号：CN105555996B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201480047603.5

申请日：2014-09-17

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 大野哲宏 ,  月川庆澄 ,  立川晋辅 ,  新井进 ,  武井応树 ,  矶部辰德 ,  清田淳也

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  C23C14/568 ,  H01J37/32908 ,  H01J37/342 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3444

Abstract: 基板处理装置具备框体(21)以及位于框体内部的中空的摆动臂(23)。摆动臂包括与框体连接的中空的摆动中心轴部(23a)以及作为摆动端的中空的连结轴部(23b)。进一步，基板处理装置具备处理部(22)，该处理部(22)位于框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与摆动中心轴部的轴向(P)正交的方向移动而对基板实施处理。处理部以追随处理部的移动而使连结轴部(23b)能够与处理部平移的方式与连结轴部连结。因此，通过处理部(22)的移动而使摆动臂线路，该连接线路位于摆动臂(23)内部，通过摆动中心轴部(23a)内部而与位于框体外部的共用设备连接、且通过连结轴部(23b)内部而与处理部连接。(23)进行摆动。进一步，基板处理装置具备连接

公开(公告)号：CN105555996A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480047603.5

申请日：2014-09-17

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 大野哲宏 ,  月川庆澄 ,  立川晋辅 ,  新井进 ,  武井応树 ,  矶部辰德 ,  清田淳也

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  C23C14/568 ,  H01J37/32908 ,  H01J37/342 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3444

Abstract: 基板处理装置具备框体(21)以及位于框体内部的中空的摆动臂(23)。摆动臂包括与框体连接的中空的摆动中心轴部(23a)以及作为摆动端的中空的连结轴部(23b)。进一步，基板处理装置具备处理部(22)，该处理部(22)位于框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与摆动中心轴部的轴向(P)正交的方向移动而对基板实施处理。处理部以追随处理部的移动而使连结轴部(23b)能够与处理部平移的方式与连结轴部连结。因此，通过处理部(22)的移动而使摆动臂(23)进行摆动。进一步，基板处理装置具备连接线路，该连接线路位于摆动臂(23)内部，通过摆动中心轴部(23a)内部而与位于框体外部的共用设备连接、且通过连结轴部(23b)内部而与处理部连接。