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公开(公告)号：CN110268091B
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN201880010348.5
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。
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公开(公告)号：CN109892012B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201880003963.3
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H05B33/10 , H01L21/3065 , H01L51/50 , H05B33/04
Abstract: 本发明的元件结构体的制造方法包括：树脂材形成工序，在具有凹凸的基板上，以至少凸部的周边比平坦部更厚的方式形成由有机物构成的树脂材；和树脂材蚀刻工序，残留位于所述凸部的周边的一部分所述树脂材，并且去除所述平坦部的该树脂材。在所述树脂材蚀刻工序中，检测对所述树脂材进行蚀刻处理的条件中的特定条件的变化，并且将检测出的检测结果用作该蚀刻处理的终点。
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公开(公告)号：CN107636192B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201680031933.4
申请日：2016-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够稳定地形成具有所期望的膜质和图案形状的树脂层的成膜方法和成膜装置。本发明一方式所涉及的成膜方法在维持在减压气氛的腔室内，将基板(W)冷却到第1温度以下，从气体供给部(13)向基板(W)的表面供给原料气体(G)，其中所述原料气体(G)含有能量线硬化性树脂，且在上述第1温度以下能够液化，将掩膜部件(16)与基板(W)的表面相向配置，其中所述掩膜部件(16)被维持在比上述第1温度高的第2温度，且具有规定的开口图案，向基板(W)的表面照射能量线。
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公开(公告)号：CN111108230A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201980004684.3
申请日：2019-05-08
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置用蒸镀源，其在蒸镀升华性材料时，可增加每单位时间的升华量，对被蒸镀物的蒸镀率高。本发明的真空蒸镀装置(Dm)用蒸镀源(DS)，其是配置在真空室(1)内，用于使升华性有机材料(7)升华并对被蒸镀物(Sw)进行蒸镀的真空蒸镀装置用蒸镀源，其具有：上表面开口(4)，其具有朝向被蒸镀物(Sw)喷出升华的材料的坩埚(41)；筒状体(5)，其与该上表面开口(4)的壁面留出间隔地插入上表面开口(4)中并收纳升华性材料；以及加热单元(Ht)，其可加热筒状体(5)内的材料；筒状体(5)上开设有容许升华的材料连通的多个网眼(52)。
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公开(公告)号：CN110268091A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201880010348.5
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109892012A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201880003963.3
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H05B33/10 , H01L21/3065 , H01L51/50 , H05B33/04
Abstract: 本发明的元件结构体的制造方法包括：树脂材形成工序，在具有凹凸的基板上，以至少凸部的周边比平坦部更厚的方式形成由有机物构成的树脂材；和树脂材蚀刻工序，残留位于所述凸部的周边的一部分所述树脂材，并且去除所述平坦部的该树脂材。在所述树脂材蚀刻工序中，检测对所述树脂材进行蚀刻处理的条件中的特定条件的变化，并且将检测出的检测结果用作该蚀刻处理的终点。
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公开(公告)号：CN110023529B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN201880004427.5
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的树脂膜的形成方法使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。
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公开(公告)号：CN109844165B
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN201880003976.0
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的树脂膜形成方法为在基板上形成图案化的树脂膜的方法，至少按顺序具备：第一工序，使用掩膜主体具有可挠性支撑部与粘结部重叠的结构的掩膜，以使所述粘结部相对于所述基板相接的方式来设置所述掩膜；第二工序，通过设置在所述掩膜主体的开口部，将汽化的树脂材料供给到所述基板并使其在该基板上凝缩，当在该基板上形成液状的树脂材料膜之后，对该树脂材料膜和所述掩膜照射UV光；以及第三工序，将所述掩膜从所述基板剥离。
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公开(公告)号：CN110023529A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201880004427.5
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的树脂膜的形成方法使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。
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公开(公告)号：CN109952388A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201880004362.4
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的气化器用于对元件结构体的制造装置供给经气化的树脂材料，具备：气化槽，具备用于对液状树脂材料进行气化的内部空间；吐出部，用于在所述内部空间中喷雾出所述液状树脂材料；加热部，在所述内部空间中与所述吐出部相对配置，并且用于对喷雾出的所述液状树脂材料进行加热使之气化；和储存部，在所述内部空间中配设在所述加热部的下方，并且未由该加热部气化的所述液状树脂材料滴落而保管到所述储存部。
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