公开(公告)号：CN1918321A

公开(公告)日：2007-02-21

申请号：CN200580004527.0

申请日：2005-02-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 松元孝文 ,  三上瞬 ,  半泽幸一 ,  守屋峰晴 ,  小田木秀幸 ,  岛田铁也 ,  久保昌司 ,  池田进

IPC: C23C14/50 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。

公开(公告)号：CN100567562C

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200580004527.0

申请日：2005-02-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 松元孝文 ,  三上瞬 ,  半泽幸一 ,  守屋峰晴 ,  小田木秀幸 ,  岛田铁也 ,  久保昌司 ,  池田进

IPC: C23C14/50 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。

公开(公告)号：CN101904227A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200880122593.1

申请日：2008-12-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 松元孝文 ,  铃木寿弘 ,  中牟田雄 ,  松本昌弘 ,  久保昌司

IPC: H05H1/46 ,  C23C14/58

CPC classification number: H05H1/46 ,  C23C14/568 ,  C23C14/5826 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3266

Abstract: 本发明提供一种使用能够再现性良好地生成大面积的等离子体，由此能够适用于广泛的用途的廉价的等离子体源的等离子体处理技术。本发明的等离子体源机构(1)能够适用于具有真空槽(20)的真空装置(21)，该等离子体源机构(1)具有矩形环状的天线部(12)和磁石部(11)，天线部(12)经由电介质部(10)而配置在真空槽(20)的外侧，能够施加高频电力，磁石部(11)在真空槽(20)的外侧经由电介质部(10)而配置在天线部(12)的附近，具有与天线部(12)相对应的矩形形状。天线部(12)的第1和第2天线线圈(14、15)邻接而接近配置，并且，第1和第2天线线圈(14、15)并联连接。