公开(公告)号：CN100567562C

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200580004527.0

申请日：2005-02-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 松元孝文 ,  三上瞬 ,  半泽幸一 ,  守屋峰晴 ,  小田木秀幸 ,  岛田铁也 ,  久保昌司 ,  池田进

IPC: C23C14/50 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。

公开(公告)号：CN1918321A

公开(公告)日：2007-02-21

申请号：CN200580004527.0

申请日：2005-02-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 松元孝文 ,  三上瞬 ,  半泽幸一 ,  守屋峰晴 ,  小田木秀幸 ,  岛田铁也 ,  久保昌司 ,  池田进

IPC: C23C14/50 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。