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公开(公告)号:CN112868177B
公开(公告)日:2024-03-05
申请号:CN201980066809.5
申请日:2019-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种不易产生Q的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电体(5),具有相互对置的一个主面以及另一个主面;IDT电极(6),设置在压电体(5)的一个主面上,具有多根电极指(11、12);高声速构件(3),配置在压电体(5)的另一个主面侧,传播的体波的声速比在压电体(5)传播的弹性波的声速高;以及第1电介质膜(13),设置在电极指(11、12)的上表面,在IDT电极(6)的电极指(11、12)间有不存在电介质的部分。
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公开(公告)号:CN115868112A
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN202180049695.0
申请日:2021-07-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 山根毅
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置,能够抑制阻带上端附近的纹波。在弹性波装置(1)中,在压电性基板(2)上设置有IDT电极(7),IDT电极(7)具有倾斜型IDT构造,在沿弹性波传播方向观察第一电极指(13)和第二电极指(14)时重叠的交叉区域具有中央区域和设置于中央区域的两侧的第一低声速区域和第二低声速区域,第一低声速区域和第二低声速区域被设置为,相对于在第一电极指(13)和第二电极指(14)的长度方向上延伸的中心轴成为非对称的形状。
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公开(公告)号:CN110352557B
公开(公告)日:2023-02-24
申请号:CN201880015091.2
申请日:2018-02-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种能够在维持主模式的良好特性的同时抑制高阶模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:材料层(2),具有欧拉角(θ1,ψ1),且欧拉角(θ1,ψ1)下的弹性常数由下述的式(1)来表示;由单晶构成的压电体(3),直接或间接地层叠于材料层(2),具有欧拉角(θ2,ψ2),且欧拉角(θ2,ψ2)下的弹性常数由下述的式(1)来表示;和IDT电极(4),设置在压电体(3)的第1主面以及第2主面之中的至少一方,材料层的弹性常数C11~C66之中非0的至少一个弹性常数和压电体的弹性常数C11~C66之中非0的至少一个弹性常数成为相反符号。[数学式1]
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公开(公告)号:CN110383685B
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN201880015383.6
申请日:2018-02-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够在维持主模式的良好特性的同时抑制高阶模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:材料层(2),具有欧拉角且欧拉角下的弹性常数由下述的式(1)来表示;压电体(3),具有相互对置的第1主面以及第2主面,直接或间接地层叠于材料层(2),具有欧拉角且欧拉角下的弹性常数由下述的式(1)来表示;和IDT电极(4),设置在压电体(3)的第1主面(3a)以及第2主面(3b)之中的至少一方,由电极指间距规定的波长为λ,C56与C56之积为正的值,并且材料层(2)的C56的绝对值大于压电体(3)的C56的绝对值。[数学式1]
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公开(公告)号:CN114424458A
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202080066157.8
申请日:2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 即便在推进了小型化的情况下也能够提高Q值,并且能够实现小型化。弹性波装置还具备压电体层(4)、第一电极(51)和第二电极(52)、第一分割谐振器(RS3)和第二分割谐振器(RS4)以及支承基板(2)。支承基板(2)具有第一能量封闭层和第二能量封闭层。第一能量封闭层与压电体层(4)的第一区域(451)的至少一部分重叠。第二能量封闭层与压电体层(4)的第二区域(452)的至少一部分重叠。在支承基板(2)中,第一能量封闭层和第二能量封闭层被一体形成。
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公开(公告)号:CN110352557A
公开(公告)日:2019-10-18
申请号:CN201880015091.2
申请日:2018-02-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种能够在维持主模式的良好特性的同时抑制高阶模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:材料层(2),具有欧拉角( θ1,ψ1),且欧拉角( θ1,ψ1)下的弹性常数由下述的式(1)来表示;由单晶构成的压电体(3),直接或间接地层叠于材料层(2),具有欧拉角( θ2,ψ2),且欧拉角(θ2,ψ2)下的弹性常数由下述的式(1)来表示;和IDT电极(4),设置在压电体(3)的第1主面以及第2主面之中的至少一方,材料层的弹性常数C11~C66之中非0的至少一个弹性常数和压电体的弹性常数C11~C66之中非0的至少一个弹性常数成为相反符号。[数学式1]
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公开(公告)号:CN105814794B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201480066958.9
申请日:2014-12-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供能有效果地抑制横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中,在压电薄膜上层叠IDT电极(11~14),IDT电极(11)具有多条第1电极指(11c)、多条第2电极指(11d),将第1电极指(11c)的前端彼此或第2电极指(11d)的前端彼此连结的线相对于弹性波传播方向倾斜,成倾斜角度(v),该倾斜角度(v)为0.4°以上、10°以下。
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公开(公告)号:CN107615659A
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201680031526.3
申请日:2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口,且难以产生层叠膜中的界面剥离,进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a~5c)的区域的外侧的区域,部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12),使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上,并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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公开(公告)号:CN107005225A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580065140.X
申请日:2015-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/6496 , H03H9/02574 , H03H9/02992 , H03H9/145 , H03H9/1452 , H03H9/178 , H03H9/19 , H03H9/6483
Abstract: 本发明提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。弹性波装置(1)是具有压电膜(6)的弹性波装置(1),具备:高音速构件,所传播的体波音速与在压电膜(6)中传播的主模的弹性波音速相比为高速;压电膜(6),直接或间接地层叠在高音速构件上;第一导电膜,设置在压电膜(6)上;以及第二导电膜,设置在压电膜(6)上以及第一导电膜的至少一部分上。在压电膜(6)上设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极,由第一导电膜构成多个IDT电极(8)的至少电极指,由第二导电膜构成对多个IDT电极(8)之间进行连接的连接布线的至少一部分。
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公开(公告)号:CN118591987A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202380018002.0
申请日:2023-01-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备:支承基板,包含支承构件和设置在所述支承构件上的中间层;压电体层,设置在中间层上;以及功能电极,设置在压电体层上。压电体层具有在支承构件、中间层以及压电体层的层叠方向上贯通压电体层的贯通孔。支承基板具有:空洞部,设置于在层叠方向上与功能电极的一部分重叠的位置;以及凹部,设置于空洞部的在层叠方向上与贯通孔重叠至少一部分的位置,并向远离压电体层的方向凹陷。
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