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公开(公告)号：CN110114972B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201780079662.4
申请日：2017-11-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种不易产生压电基板的裂纹、碎片的弹性波装置的制造方法。一种弹性波装置的制造方法，具备：准备在多个弹性波装置构成部分(2A～2D)分别设置有IDT电极(3)的压电晶片(1)的工序；在压电晶片(1)的第一主面(1a)，在多个弹性波装置构成部分(2A～2D)分别设置多个支承层(7)的工序；接合覆盖构件，使得覆盖多个支承层(7)，得到层叠体的工序；将层叠体沿着第一方向(X)切断多次的工序；以及将层叠体沿着与第一方向(X)正交的第二方向(Y)切断，得到各个弹性波装置的工序，在压电晶片(1)的第一主面(1a)上，设置有树脂层(11)，使得跨过相邻的弹性波装置构成部分(2A～2D)间的边界，以存在该树脂层(11)的状态进行第二切断工序。
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公开(公告)号：CN107615653B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201680027017.3
申请日：2016-06-15
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种具有层叠有厚度薄的压电薄膜、低声速膜以及高声速部件的构造的弹性波装置，其中，特性的偏差少。弹性波装置(1)，在低声速膜(3)上设置有压电薄膜(4)，在压电薄膜(4)上设置有IDT电极(5)，压电薄膜(4)由压电单晶构成，并具有作为极化轴方向上的正的面的第一主面(4a)和作为极化轴方向上的负的面的第二主面(4b)，压电薄膜(4)的低声速膜(3)侧的主面为第一主面(4a)，IDT电极(5)侧的主面为第二主面(4b)。
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公开(公告)号：CN107615653A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680027017.3
申请日：2016-06-15
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/25 , H01L41/0477 , H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/0595 , H03H9/14544 , H03H9/6483
Abstract: 本发明提供一种具有层叠有厚度薄的压电薄膜、低声速膜以及高声速部件的构造的弹性波装置，其中，特性的偏差少。弹性波装置(1)，在低声速膜(3)上设置有压电薄膜(4)，在压电薄膜(4)上设置有IDT电极(5)，压电薄膜(4)由压电单晶构成，并具有作为极化轴方向上的正的面的第一主面(4a)和作为极化轴方向上的负的面的第二主面(4b)，压电薄膜(4)的低声速膜(3)侧的主面为第一主面(4a)，IDT电极(5)侧的主面为第二主面(4b)。
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公开(公告)号：CN105794107A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066259.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/14544 , H03H3/08 , H03H9/02574 , H03H9/02992 , H03H9/0514 , H03H9/0542 , H03H9/0552 , H03H9/1014 , H03H9/1071 , H03H9/132 , H03H9/145
Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
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公开(公告)号：CN104798302A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060102.6
申请日：2013-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08
Abstract: 提供能减少短路不良和泄漏不良的发生的弹性波装置的制造方法。在具有压电性的母基板(10)的一方主面上形成多个功能元件部(11)、和将多个功能元件部(11)电连接的连接线(12)。在母基板(10)的一方主面上形成包围功能元件部(11)的树脂制的支承层(20)。通过按照切割线将具有母基板(10)、功能元件部(11)以及支承层(20)的层叠体(35)分断成多个，来得到具有功能元件部(11)的弹性波装置(1)。连接线(12)具有：位于切割线上的线主体(12a)；和将线主体(12a)和功能元件部(11)电连接的连接部(12b)。在层叠体(35)的分断前，在母基板(10)上与支承层(20)分离地形成在线主体(12a)的宽度方向上跨线主体(12a)的树脂制的保持构件(21)。
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公开(公告)号：CN117063400A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280024513.9
申请日：2022-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制无用波所引起的电特性的劣化的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包括包含支承基板的支承构件、以及设置在支承构件上并具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面的压电层(14)；至少一个功能电极，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或者第2主面，具有至少1对电极；第1支承体(18)，设置在压电性基板(12)上，使得包围功能电极；至少一个第2支承体(19)，设置在压电性基板(12)上，并配置在被第1支承体(18)包围的部分；和盖部，设置在第1支承体(18)上以及第2支承体(19)上。将相邻的电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从电极对置方向观察时，相邻的电极彼此相互重叠的区域为交叉区域(E)，在从电极对置方向观察时，第2支承体(19)的至少一部分被配置为与交叉区域(E)重叠。
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公开(公告)号：CN105409120B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201480042253.3
申请日：2014-07-29
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0057 , H03H9/1042 , H03H9/1071 , H03H9/1092 , H03H9/64
Abstract: 提供难以出现弹性波元件部所面对的中空部的泄漏不良的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上构成具有IDT电极的多个弹性波元件部，在压电基板(2)上设置包围弹性波元件部的支承层(16)，从而形成各弹性波元件部所面对的中空部，在该支承层(16)上层叠封盖构件来构成弹性波元件部所面对的各中空部，支承层(16)具有第1支承层(17)和第2支承层(18)，第1支承层(17)沿着压电基板(2)的外周缘，第2支承层(18)位于被第1支承层(17)包围的区域内，设置在弹性波元件部的周围，以使得具有各弹性波元件部所存在的中空部，中空路径(19)设置在第1支承层(17)与第2支承层(18)间，且将中空路径(19)设置成连通至少2个中空部。
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公开(公告)号：CN107615658A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680029063.7
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而强度高的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠了层叠膜(13)的弹性波装置(1)。设置有第一支承层(8a)，使得包围设置有IDT电极(5a、5d)的区域。在被第一支承层(8a)包围的区域设置有第二支承层(8b)。在第一支承层(8a)、第二支承层(8b)上，固定有覆盖构件(9)，使得封闭由第一支承层(8a)形成的开口部。层叠膜(13)部分地不存在，在不存在层叠膜(13)的区域(R1)的至少一部分设置有绝缘层(12)。第一支承层(8a)以及第二支承层(8b)中的至少一方设置在绝缘层(12)上。
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公开(公告)号：CN103460599A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201180069710.4
申请日：2011-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H05K1/182 , H03H3/08 , H03H9/1071 , H05K3/3431 , H05K2201/0999 , H05K2201/10083 , H05K2201/2018 , Y10T29/49124 , Y10T29/49128 , Y10T29/49147 , Y10T29/49165
Abstract: 本发明提供一种电子部件，能够抑制中空部的泄漏不良因此在耐气候性方面优越。该电子部件(1)在基板(2)的一个主面上形成有由热固性树脂构成、包围功能部(3)且从基板(2)的周围向内侧隔开的框状的支撑体(4)，在支撑体(4)固定盖体(5)以密封框状的支撑体(4)的开口部。框状的支撑体(4)具有框状的支撑体主体(4a)、从支撑体主体(4a)向内侧突出的第1突出部(4b)、和在支撑体主体(4a)与第1突出部(4b)相连的部分从支撑体主体(4a)向外侧突出的第2突出部(4c)。
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