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公开(公告)号：CN102959752A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180030839.4
申请日：2011-07-26
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/0805 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/22 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 提供一种具有表面形态良好、结晶性优异的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。压电薄膜元件的制造方法包括：在基板(1)上形成下部电极层(2)的工序；在下部电极层(2)上，以相对较低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层(3)的工序；在压电薄膜缓冲层(3)上，以比压电薄膜缓冲层(3)的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层(4)的工序；以及在压电薄膜层(4)上形成上部电极层的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101292423B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200680039274.5
申请日：2006-10-04
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/10 , H03H9/02228
Abstract: 本发明提供一种兰姆波器件，其具有：衬底基板(2)；压电薄膜(3)，其形成在所述衬底基板(2)上，具有从该衬底基板(2)浮起的部分，该浮起的部分具有与衬底基板(2)相对的第一面(3a)和相反一侧的面即第二面(3b)。所述压电薄膜(3)由LiTaO3或LiNbO3构成。所述压电薄膜(3)的c轴处于与相对于所述压电薄膜(3)的第一、第二面的法线大致相同的方向，并且是把c轴作为旋转轴的旋转双晶。利用该兰姆波的器件，能有效抑制不希望的模式引起的乱真的构造。
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公开(公告)号：CN102959752B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180030839.4
申请日：2011-07-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319 , C23C14/08
CPC classification number: H01L41/0805 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/22 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 提供一种具有表面形态良好、结晶性优异的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。压电薄膜元件的制造方法包括：在基板(1)上形成下部电极层(2)的工序；在下部电极层(2)上，以相对较低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层(3)的工序；在压电薄膜缓冲层(3)上，以比压电薄膜缓冲层(3)的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层(4)的工序；以及在压电薄膜层(4)上形成上部电极层的工序。
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公开(公告)号：CN102859734B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201180019897.7
申请日：2011-04-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/39 , H03K17/96
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/1873 , H01L41/316 , H01L41/331 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电致动器以及压电致动器的制造方法。在基底基板(11)形成有固定电极(12)。在基底基板(11)的表面形成有电介质层(13)。在电介质层(13)的表面形成有至少一部分为与基底基板(11)分离的形状的下部电极(14)。在下部电极(14)的表面形成有压电体层(15)。在压电体层(15)的表面侧形成有上部电极(16)。由于因压电驱动电压的施加所引起的压电体层(15)的形变，使得上部电极(16)或者下部电极(14)的至少一部分成为可动的可动电极。从而实现与以往相比能以简单的构成以及简单的制造流程形成的压电致动器。
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公开(公告)号：CN102859734A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180019897.7
申请日：2011-04-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/39 , H03K17/96
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/1873 , H01L41/316 , H01L41/331 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电致动器以及压电致动器的制造方法。在基底基板(11)形成有固定电极(12)。在基底基板(11)的表面形成有电介质层(13)。在电介质层(13)的表面形成有至少一部分为与基底基板(11)分离的形状的下部电极(14)。在下部电极(14)的表面形成有压电体层(15)。在压电体层(15)的表面侧形成有上部电极(16)。由于因压电驱动电压的施加所引起的压电体层(15)的形变，使得上部电极(16)或者下部电极(14)的至少一部分成为可动的可动电极。从而实现与以往相比能以简单的构成以及简单的制造流程形成的压电致动器。
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公开(公告)号：CN101292423A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200680039274.5
申请日：2006-10-04
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/10 , H03H9/02228
Abstract: 本发明提供一种兰姆波器件，其具有：衬底基板(2)；压电薄膜(3)，其形成在所述衬底基板(2)上，具有从该衬底基板(2)浮起的部分，该浮起的部分具有与衬底基板(2)相对的第一面(3a)和相反一侧的面即第二面(3b)。所述压电薄膜(3)由LiTaO3或LiNbO3构成。所述压电薄膜(3)的c轴处于与相对于所述压电薄膜(3)的第一、第二面的法线大致相同的方向，并且是把c轴作为旋转轴的旋转双晶。利用该兰姆波的器件，能有效抑制不希望的模式引起的乱真的构造。
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