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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105493260A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047456.1
申请日：2014-08-29
Applicant: 株式会社普利司通
IPC: H01L21/683 , C23C16/44 , C23C16/458 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4581 , C23C16/4584 , H01L21/67103 , H01L21/68735 , H01L21/68771 , H01L21/68785
Abstract: 提供能够在抑制承载器的升温速度和热利用效率降低的同时改善热均匀性的承载器。该承载器(100)包括：板状的第一构件(10)，其具有用于载置晶圆的晶圆载置面；以及第二构件(20)，其用于支撑第一构件(10)并在垂直于晶圆载置面的方向上与第一构件(10)层叠。第一构件(10)的热传导率高于第二构件(20)的热传导率。
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公开(公告)号：CN113906235A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202080040198.X
申请日：2020-01-28
Applicant: 株式会社普利司通
Inventor： 大西正
Abstract: 本发明提供一种增强效果优异的支架。具有开口部(A)的支架(1)具备主体(10)和增强部(20)。主体(10)由树脂构成。另外，主体(10)具备一对柱部(11)和一对连结部(12、13)。主体(10)在柱部(11)中的至少一者具备板部(15)。在板部(15)设有自开口部(A)侧向支架外周侧延伸并在开口部贯通方向上突出的肋(16～18)。增强部(20)包含增强部(21)。增强部(21)形成支架(1)的外周面(f1)。增强部(21)以在开口部贯通方向观察时与肋(16～18)重叠的方式配置。
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公开(公告)号：CN105493260B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201480047456.1
申请日：2014-08-29
Applicant: 株式会社普利司通
IPC: H01L21/683 , C23C16/44 , C23C16/458 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4581 , C23C16/4584 , H01L21/67103 , H01L21/68735 , H01L21/68771 , H01L21/68785
Abstract: 提供能够在抑制承载器的升温速度和热利用效率降低的同时改善热均匀性的承载器。该承载器(100)包括：板状的第一构件(10)，其具有用于载置晶圆的晶圆载置面；以及第二构件(20)，其用于支撑第一构件(10)并在垂直于晶圆载置面的方向上与第一构件(10)层叠。第一构件(10)的热传导率高于第二构件(20)的热传导率。
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公开(公告)号：CN113227600A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980084433.0
申请日：2019-11-18
Applicant: 株式会社普利司通
Abstract: 提供一种支架，其具有优异的耐久性，同时抑制重量的增加。包括开口(A)的支架(1A)是树脂制成的圆筒形支架并且包括一对柱部(11)和一对桥接部(12)，通过所述柱部(11)和所述桥接部(12)区划出所述开口(A)。至少一个所述柱部(11)设置有板部(13)，并且，在一个桥接部(12)中，在柱部(11)的延伸方向视图中，该桥接部(12)的支架外周侧外表面(12f1)的开口贯通方向宽度(W1)在该桥接部(12)的延伸方向端(12e)处最大。
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公开(公告)号：CN111226058A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201880068070.7
申请日：2018-10-25
Applicant: 株式会社普利司通
Abstract: 提供抑制重量增加和增强部剥离的防振装置用支架及其制造方法。支架(1)具有：增强部(20)，其在围绕部(10)的围绕方向上延伸并在围绕方向的两个方向上都具有端部(21)，并且固定到围绕部(10)的外表面；肋(30)，其以沿着围绕部(10)的围绕方向跨接增强部(20)的端部(21)的方式形成于增强部(20)的外周。围绕部(10)和肋(30)由合成树脂制成。支架(1)的制造方法包括将待成为围绕部(10)和肋(30)的合成树脂注射到布置有待成为增强部(20)的增强材料的模腔中的步骤。
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