公开(公告)号：CN117730395A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202280053089.0

申请日：2022-06-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 石黑浩二 ,  皆田晋介 ,  安田博幸 ,  当真嗣尚 ,  菅原佑香

IPC: H01J49/06

Abstract: 质量分析装置具有：滤质器，该滤质器包括杆电极(37)、保持杆电极的保持器(38)、载置保持器的保持器支承台(39)、以及利用其弹力将保持器按压固定在保持器支承台上的板簧(43)；温度传感器(48、53)；以及根据温度传感器的测定信号控制施加在杆电极上的高频电压的电压值的控制部(58)，温度传感器相对于板簧固定。

公开(公告)号：CN118575255A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202280089873.7

申请日：2022-01-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山田晃 ,  近藤克 ,  皆田晋介 ,  照井康

IPC: H01J49/00 ,  H01J49/02 ,  H01J49/42

Abstract: 本发明提供一种质量分析装置，在对电极的施加电压存在异常时，能够容易地进行原因部位的区分。在具备四极电极和生成施加于四极电极的高频电压的电源电路(200)的质量分析装置中，电源电路(200)具备模拟乘法器(205)，在RF调谐模式下，反馈模拟乘法器(205)的输出信号的振幅，在模拟乘法器(205)的输出信号的振幅被控制为高频电压的目标振幅的状态下，将电源电路生成的高频电压施加于四极电极。