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公开(公告)号：CN104380064A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380031425.2
申请日：2013-06-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01J1/42 , G01N23/225 , H01J37/244 , G01N21/64
CPC classification number: G01J1/44 , G01J1/42 , G01N21/64 , G01N23/2251 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24495 , H03F3/08 , H03F2201/3215
Abstract: 本发明提供一种能够以简单的操作辨别微量光的信号成分与暗电流引起的噪声的信号成分的光信号检测电路、光量检测装置以及带电粒子束装置。数据处理部(441)从通过放大器(41)以及A/D转换部(42)变换后的与光量对应的数字电压信号检测出脉冲来求出脉冲的最大电压值即峰值，将求出的每个峰值的出现频率存储在频数存储区域(451)中，数据解析部(442)按照峰值的值从小到大的顺序比较存储在频数存储区域(451)中的与峰值对应的该峰值的出现频率与预先决定的频率下限值，将比较结果为出现频率成为频率下限值以下的峰值的值设成脉冲判定阈值，阈值处理部(43)输出脉冲判定阈值以上的数字电压信号作为检测信号。
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公开(公告)号：CN115023787A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202080094380.3
申请日：2020-12-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在质量分析装置中，由于夹杂物堆积在框架内部等原因，耐电压降低，在离子源等中发生放电，由此有时无法进行正常的测定。基于放电的异常测定的结果无法和前处理部与针之间的管的堵塞等引起的测定异常进行区分，因此存在异常部位的确定需要时间，维护性降低的问题。作为其手段，设置串联连接在向针施加电压的离子源电源与框架之间的返回电流检测部和串联连接在向对置电极施加电压的对置电极电源与框架之间的返回电流检测部。通过将由返回电流检测部测定出的电流与预先决定的阈值进行比较，来检测放电的发生以及放电发生部位。
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公开(公告)号：CN107533944A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201580079435.2
申请日：2015-05-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/248 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/241 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/248 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2448
Abstract: 在具备离子泵的带电粒子束装置中，能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低而对真空度高精度地进行计量。离子泵(2)的驱动电源部(1)构成为，具备：高压电源电路部(101‑112)，其使离子泵(2)工作；负荷电流检测电路部(130)，其对向离子泵(2)施加的负荷电流进行检测；以及消除电路部(140)，其使施加于负荷电流检测电路部(130)的低频噪声降低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104380064B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201380031425.2
申请日：2013-06-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01J1/42 , G01N23/225 , H01J37/244 , G01N21/64
CPC classification number: G01J1/44 , G01J1/42 , G01N21/64 , G01N23/2251 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24495 , H03F3/08 , H03F2201/3215
Abstract: 本发明提供一种能够以简单的操作辨别微量光的信号成分与暗电流引起的噪声的信号成分的光信号检测电路、光量检测装置以及带电粒子束装置。数据处理部(441)从通过放大器(41)以及A/D转换部(42)变换后的与光量对应的数字电压信号检测出脉冲来求出脉冲的最大电压值即峰值，将求出的每个峰值的出现频率存储在频数存储区域(451)中，数据解析部(442)按照峰值的值从小到大的顺序比较存储在频数存储区域(451)中的与峰值对应的该峰值的出现频率与预先决定的频率下限值，将比较结果为出现频率成为频率下限值以下的峰值的值设成脉冲判定阈值，阈值处理部(43)输出脉冲判定阈值以上的数字电压信号作为检测信号。
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公开(公告)号：CN115023787B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202080094380.3
申请日：2020-12-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在质量分析装置中，由于夹杂物堆积在框架内部等原因，耐电压降低，在离子源等中发生放电，由此有时无法进行正常的测定。基于放电的异常测定的结果无法和前处理部与针之间的管的堵塞等引起的测定异常进行区分，因此存在异常部位的确定需要时间，维护性降低的问题。作为其手段，设置串联连接在向针施加电压的离子源电源与框架之间的返回电流检测部和串联连接在向对置电极施加电压的对置电极电源与框架之间的返回电流检测部。通过将由返回电流检测部测定出的电流与预先决定的阈值进行比较，来检测放电的发生以及放电发生部位。
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公开(公告)号：CN116529849A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202180077495.6
申请日：2021-12-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J49/42
Abstract: 一种高电压模块(HVMD)具备：误差放大器(5)，其基于参照信号(Vin)和反馈信号(4)输出控制信号(6)；高电压输出电路(7)，其基于控制信号(6)输出供给用高电压(Vout)；以及反馈电路(10)，其基于供给用高电压(Vout)输出反馈信号(4)。在此，反馈电路(10)具备第一部分电路(8)，其由电阻元件构成，被输入供给用高电压(Vout)并输出中间信号(11)；以及第二部分电路(9)，其被输入中间信号(11)并输出反馈信号(4)。而且，高电压模块(HVMD)具备基板(SUB)，该基板(SUB)具备安装有高电压输出电路(7)和第一部分电路(8)的一部分的高电压基板区域(2)、以及安装有误差放大器(5)和第二部分电路(9)的低电压基板区域(3)，第二部分电路(9)具备与反馈电路的环路增益相关联的电阻元件和电容元件。
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公开(公告)号：CN114556522A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202080071334.1
申请日：2020-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提高电源模块的性能。特别是，在电源模块内，防止放电的产生，且使电源模块小型化。作为其手段，在电源模块内，以在俯视下重叠的方式设置多个基板。此时，在第一基板(2)，在相互之间保持用于防止沿面放电的距离(L)而形成低电压电路(3)和高电压电路，在第二基板(4)形成低电压电路(5)。另外，构成形成于高电压电路的高电压交流电路(8)的部件与构成低电压电路(5)的部件之间的距离为在构成形成于高电压电路的高电压直流电路(7)的部件与构成低电压电路(5)的部件之间不产生空间放电的最短距离(D)的3倍以上。
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公开(公告)号：CN107533944B
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201580079435.2
申请日：2015-05-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/248 , H01J37/18 , H01J37/28
Abstract: 在具备离子泵的带电粒子束装置中，能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低而对真空度高精度地进行计量。离子泵(2)的驱动电源部(1)构成为，具备：高压电源电路部(101‑112)，其使离子泵(2)工作；负荷电流检测电路部(130)，其对向离子泵(2)施加的负荷电流进行检测；以及消除电路部(140)，其使施加于负荷电流检测电路部(130)的低频噪声降低。
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