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公开(公告)号:CN119054043A
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202380035500.6
申请日:2023-04-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种能够推定成为重叠于检测信号的噪声的噪声源的异常部分的范围的测定装置以及质量分析装置。为了实现上述目的,一种测定装置具有:测定单元,其对测定对象进行测定并输出测定信号;检测器,其检测测定信号并输出检测信号;分析处理单元,其根据检测信号运算并输出分析结果;分析结果显示器,其显示分析结果;以及装置控制模块,其控制测定单元并输出控制信号,该测定装置具有检测测定装置的噪声的异常检测模块,异常检测模块将测定装置的各构成要素的驱动间隔存储在存储器资源中,针对测定装置的各构成要素,基于存储在存储器资源中的对应的驱动间隔和分析处理单元的分析结果,判定是否混入噪声。
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公开(公告)号:CN115023787A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202080094380.3
申请日:2020-12-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在质量分析装置中,由于夹杂物堆积在框架内部等原因,耐电压降低,在离子源等中发生放电,由此有时无法进行正常的测定。基于放电的异常测定的结果无法和前处理部与针之间的管的堵塞等引起的测定异常进行区分,因此存在异常部位的确定需要时间,维护性降低的问题。作为其手段,设置串联连接在向针施加电压的离子源电源与框架之间的返回电流检测部和串联连接在向对置电极施加电压的对置电极电源与框架之间的返回电流检测部。通过将由返回电流检测部测定出的电流与预先决定的阈值进行比较,来检测放电的发生以及放电发生部位。
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公开(公告)号:CN115023787B
公开(公告)日:2025-03-28
申请号:CN202080094380.3
申请日:2020-12-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在质量分析装置中,由于夹杂物堆积在框架内部等原因,耐电压降低,在离子源等中发生放电,由此有时无法进行正常的测定。基于放电的异常测定的结果无法和前处理部与针之间的管的堵塞等引起的测定异常进行区分,因此存在异常部位的确定需要时间,维护性降低的问题。作为其手段,设置串联连接在向针施加电压的离子源电源与框架之间的返回电流检测部和串联连接在向对置电极施加电压的对置电极电源与框架之间的返回电流检测部。通过将由返回电流检测部测定出的电流与预先决定的阈值进行比较,来检测放电的发生以及放电发生部位。
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公开(公告)号:CN117296125A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202280034691.X
申请日:2022-06-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J49/02
Abstract: 本公开为了降低信号检测装置内外的干扰传播噪声的影响,提高信号检测精度,提出一种信号检测装置,具备:检测器,其包含将作为检测对象的光子转换为电流信号的光电转换元件和将电流信号转换为电压信号的电流/电压转换器;传输部,其传输电压信号;以及数据收集部,其检测、收集传输来的电压信号。在此,检测器配置在与机架地线连接的第一屏蔽壳体的内部。电流/电压转换器包含具有第一及第二输入端子的差动放大器,第一输入端子经由第一输入电阻与光电转换元件的第一输出端子连接,第二输入端子经由具有比第一输入电阻大的电阻值的第二输入电阻与光电转换元件的第二输出端子和地线连接。另外,电流/电压转换器的第一及第二输出端子通过电缆传输部与数据收集部连接。电缆传输部与电流/电压转换器和数据收集部一起与地线连接(参照图1)。
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公开(公告)号:CN116529849A
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202180077495.6
申请日:2021-12-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J49/42
Abstract: 一种高电压模块(HVMD)具备:误差放大器(5),其基于参照信号(Vin)和反馈信号(4)输出控制信号(6);高电压输出电路(7),其基于控制信号(6)输出供给用高电压(Vout);以及反馈电路(10),其基于供给用高电压(Vout)输出反馈信号(4)。在此,反馈电路(10)具备第一部分电路(8),其由电阻元件构成,被输入供给用高电压(Vout)并输出中间信号(11);以及第二部分电路(9),其被输入中间信号(11)并输出反馈信号(4)。而且,高电压模块(HVMD)具备基板(SUB),该基板(SUB)具备安装有高电压输出电路(7)和第一部分电路(8)的一部分的高电压基板区域(2)、以及安装有误差放大器(5)和第二部分电路(9)的低电压基板区域(3),第二部分电路(9)具备与反馈电路的环路增益相关联的电阻元件和电容元件。
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公开(公告)号:CN114556522A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202080071334.1
申请日:2020-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提高电源模块的性能。特别是,在电源模块内,防止放电的产生,且使电源模块小型化。作为其手段,在电源模块内,以在俯视下重叠的方式设置多个基板。此时,在第一基板(2),在相互之间保持用于防止沿面放电的距离(L)而形成低电压电路(3)和高电压电路,在第二基板(4)形成低电压电路(5)。另外,构成形成于高电压电路的高电压交流电路(8)的部件与构成低电压电路(5)的部件之间的距离为在构成形成于高电压电路的高电压直流电路(7)的部件与构成低电压电路(5)的部件之间不产生空间放电的最短距离(D)的3倍以上。
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