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公开(公告)号：CN102026581A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980117559.X
申请日：2009-05-13
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292 , A61B8/06 , A61B8/13 , A61B8/4455 , G01N29/2406 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明涉及超声波探头及其制造方法和超声波诊断装置。本发明的超声波探头包括：cMUT芯片，其具有根据偏置电压而使电气机械耦合系数或者灵敏度变化的多个振动单元，用于发送接收超声波；导电层，其被成膜在所述cMUT芯片的超声波放射侧；声透镜，其被配置在所述cMUT芯片的超声波放射侧；绝缘层，其被成膜在所述声透镜的超声波放射侧的相反方向上；以及框体部，其收纳通过粘结剂将所述导电层和所述绝缘层粘结的所述cMUT芯片和所述声透镜，所述绝缘层，包括硅氧化物或者对二甲苯的至少一种，并且由用于防止所述粘结剂的溶剂向所述粘结剂部分浸透的材质形成。
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公开(公告)号：CN103069844B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201180040251.7
申请日：2011-08-19
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/0883 , A61B8/0891 , A61B8/14 , A61B8/4444 , B06B1/0292 , G01N29/2456 , G10K11/002
Abstract: 为了降低放射到与超声波收发设备的超声波发送方向相反的一侧的超声波的背面的反射，得到高分辨率的超声波诊断图像，在基板上设置空洞、夹着上述空洞的绝缘层、夹着上述空洞和绝缘层的上层电极和下层电极来形成超声波振动元件，隔着低弹性构件在衬垫上保持上述基板，向上述电极之间施加直流电压和交流电压，使上述超声波振动元件振动的超声波探头中，将由上述基板和上述低弹性构件构成的机械阻抗和衬垫的音响阻抗设为大致相同的值。
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公开(公告)号：CN103069844A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180040251.7
申请日：2011-08-19
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/0883 , A61B8/0891 , A61B8/14 , A61B8/4444 , B06B1/0292 , G01N29/2456 , G10K11/002
Abstract: 为了降低放射到与超声波收发设备的超声波发送方向相反的一侧的超声波的背面的反射，得到高分辨率的超声波诊断图像，在基板上设置空洞、夹着上述空洞的绝缘层、夹着上述空洞和绝缘层的上层电极和下层电极来形成超声波振动元件，隔着低弹性构件在衬垫上保持上述基板，向上述电极之间施加直流电压和交流电压，使上述超声波振动元件振动的超声波探头中，将由上述基板和上述低弹性构件构成的机械阻抗和衬垫的音响阻抗设为大致相同的值。
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