公开(公告)号：CN103537404A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310277355.0

申请日：2013-07-04

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 渡边正贤 ,  渡边茂雄 ,  德安良纪 ,  后和昭典

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种浆料涂敷装置，具有：浆料储存部（30），其对向元件侧基板涂敷的玻璃浆料进行储存；喷嘴（31a），其将玻璃浆料向元件侧基板喷出；管路（312a），其使玻璃浆料从浆料储存部（30）流通至喷嘴（31a）；搅拌机构（33），其装入管路（312a）并对在该管路（312a）中流通的玻璃浆料进行搅拌，搅拌机构（33）以能够活动的方式装入管路（312a）。

公开(公告)号：CN102826762B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201210182134.0

申请日：2012-06-05

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 德安良纪 ,  山本英明 ,  渡濑直树 ,  松井淳一 ,  中村秀男

IPC: C03C17/22

Abstract: 本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中，是具备吸附保持涂敷对象物（100）的吸附工作台（9）、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台（9）上的涂敷对象物（100）的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头（4）、使涂敷头（4）在涂敷对象物（100）的上方位置移动的龙门架（3）的薄膜形成装置（1），其中，龙门架（3）还具备将涂敷对象物（100）的表面加热的热源装置（31）。

公开(公告)号：CN103537404B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201310277355.0

申请日：2013-07-04

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 渡边正贤 ,  渡边茂雄 ,  德安良纪 ,  后和昭典

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种浆料涂敷装置，具有：浆料储存部（30），其对向元件侧基板涂敷的玻璃浆料进行储存；喷嘴（31a），其将玻璃浆料向元件侧基板喷出；管路（312a），其使玻璃浆料从浆料储存部（30）流通至喷嘴（31a）；搅拌机构（33），其装入管路（312a）并对在该管路（312a）中流通的玻璃浆料进行搅拌，搅拌机构（33）以能够活动的方式装入管路（312a）。