公开(公告)号：CN102285225B

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201110159386.7

申请日：2011-06-14

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 徳安良纪 ,  山本英明 ,  渡濑直树 ,  松井淳一 ,  中村秀男

IPC: B41J2/01

Abstract: 提供一种做到了能够以高精度向宽度、高度方向进行均匀的涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。各涂敷头(15)排列在X轴方向，每4个构成1个组。在相同的组中，使涂敷头(15)在Y轴方向的位置不同，在组之间，在Y轴方向各有1个相同位置的涂敷头。不同的组的Y轴方向位置相同的各一个涂敷头(15)搭载在相同的Z轴保持片(20bc)上。各涂敷头(15)具备微动Z轴驱动单元(20a)，能够独立地向Z轴方向移动。另外，针对每个Z轴保持片(20bc)设有独立Z轴驱动单元(20b1)，由此Z轴保持片(20bc)能够独立地向Z轴方向移动。另外，设有共用Z轴驱动单元(30)，由此全部的Z轴保持片(20bc)、从而全部的涂敷头(15)能够同时向Z轴方向移动。

公开(公告)号：CN102826762B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201210182134.0

申请日：2012-06-05

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 德安良纪 ,  山本英明 ,  渡濑直树 ,  松井淳一 ,  中村秀男

IPC: C03C17/22

Abstract: 本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中，是具备吸附保持涂敷对象物（100）的吸附工作台（9）、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台（9）上的涂敷对象物（100）的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头（4）、使涂敷头（4）在涂敷对象物（100）的上方位置移动的龙门架（3）的薄膜形成装置（1），其中，龙门架（3）还具备将涂敷对象物（100）的表面加热的热源装置（31）。