公开(公告)号：CN101154037B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200710141905.0

申请日：2007-08-16

Applicant: 株式会社日立制作所 ,  东京应化工业株式会社

Inventor： 小岛恭子 ,  羽田英夫 ,  盐野大寿

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07C39/17 ,  C07C39/15 ,  G03F7/0382 ,  Y10S430/106

Abstract: 随着微细化，要求半导体电路图案尺寸的精度接近于抗蚀剂分子尺寸，但抗蚀剂图案的边缘粗糙度导致设备性能劣化或对系统性能造成不良影响。本发明使用一种图案形成用基材，其特征在于，所述图案形成用基材为每1分子具有0个以上6个以下在酸的作用下发生化学转化、对碱性显影液的溶解性降低的官能团的化合物的混合物，在除所述官能团之外的部分，具有2个以上三苯基甲烷结构非共轭地连接的结构，所述官能团与多核酚化合物的酚羟基键合，每1分子具有0个所述官能团的多核酚化合物的重量比为15％以下，且每1分子有3个以上所述官能团的多核酚化合物的重量比为40％以下，并且与所述多核酚化合物键合的所述官能团个数平均每1分子为2.5以下。

公开(公告)号：CN1975570A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200610163378.9

申请日：2006-12-04

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小岛恭子 ,  服部孝司

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0382

Abstract: 如果随着微细化，要求半导体电路图案尺寸的精度接近于抗蚀剂分子尺寸，则抗蚀剂图案的线边缘粗糙度增大。本发明提供能够抑制由所述情况导致的设备性能劣化或对系统性能造成的不良影响的技术。本发明使用一种图案形成用基材，其特征在于，所述图案形成用基材为具有3个以下在酸的作用下发生化学转化、对碱性显影液的溶解性降低的官能团的分子。

公开(公告)号：CN1975570B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200610163378.9

申请日：2006-12-04

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小岛恭子 ,  服部孝司

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0382

Abstract: 如果随着微细化，要求半导体电路图案尺寸的精度接近于抗蚀剂分子尺寸，则抗蚀剂图案的线边缘粗糙度增大。本发明提供能够抑制由所述情况导致的设备性能劣化或对系统性能造成的不良影响的技术。本发明使用一种图案形成用基材，其特征在于，所述图案形成用基材为具有3个以下在酸的作用下发生化学转化、对碱性显影液的溶解性降低的官能团的分子。

公开(公告)号：CN101154037A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710141905.0

申请日：2007-08-16

Applicant: 株式会社日立制作所 ,  东京应化工业株式会社

Inventor： 小岛恭子 ,  羽田英夫 ,  盐野大寿

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07C39/17 ,  C07C39/15 ,  G03F7/0382 ,  Y10S430/106

Abstract: 随着微细化，要求半导体电路图案尺寸的精度接近于抗蚀剂分子尺寸，但抗蚀剂图案的边缘粗糙度导致设备性能劣化或对系统性能造成不良影响。本发明使用一种图案形成用基材，其特征在于，所述图案形成用基材为每1分子具有0个以上6个以下在酸的作用下发生化学转化、对碱性显影液的溶解性降低的官能团的化合物的混合物，在除所述官能团之外的部分，具有2个以上三苯基甲烷结构非共轭地连接的结构，所述官能团与多核酚化合物的酚羟基键合，每1分子具有0个所述官能团的多核酚化合物的重量比为15％以下，且每1分子有3个以上所述官能团的多核酚化合物的重量比为40％以下，并且与所述多核酚化合物键合的所述官能团个数平均每1分子为2.5以下。

公开(公告)号：CN1591592A

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：CN200410039360.9

申请日：2004-01-30

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 寺尾元康 ,  小岛恭子 ,  峰邑浩行 ,  前田武志 ,  岛野健

IPC: G11B7/00 ,  G11B7/20 ,  G11B7/24 ,  G11C13/04

CPC classification number: G11B7/14 ,  G11B7/0903 ,  G11B7/127 ,  G11B7/24038

Abstract: 本发明的目的在于提供一种信息记录装置、信息记录媒体及信息记录方法，该信息记录装置、信息记录媒体及信息记录方法以一对电极挟持多个记录层的各层并分别向各层施加电压。向各记录层照射各自不同的激光光束进行并列记录。由于最初向记录媒体照射的光斑的预热或者预备照射效果，记录层依次以高速着色或者消色。作为记录层自身或者与记录层邻接的其他的层，设通过施加电压，吸收光谱变化，进行光吸收的层。本发明的信息记录装置、信息记录媒体及信息记录方法通过分别将多个激光光束聚光在多层记录媒体的各层可以得到记录/再生的高速化效果。由于无须极端提高盘旋转速度，所以可以进行安定的高速记录。本发明也适用于同时并列录制电视的多个频道。