公开(公告)号：CN1185030A

公开(公告)日：1998-06-17

申请号：CN97122955.4

申请日：1997-11-26

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 数见秀之 ,  手束勉 ,  西尾良司 ,  荒井雅嗣 ,  吉冈健 ,  坪根恒彦 ,  土居昭 ,  枝村学 ,  前田贤治 ,  金井三郎

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/00

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/321

Abstract: 向一天线1馈加由射频电源10产生的射频电力,从而产生等离子体。前述天线的一端通过一可变电容器9接地。一法拉第屏蔽8与地电绝缘,同时前述可变电容器的电容被确定为这样一个值:可使前述天线两端的电压绝对值相等而相位相反,以在等离子体发生之后减少前述室壁的部分磨损。在激发前述等离子体6的时刻,前述电容器9的电容被调到与前述最小化真空室壁磨损的值相比更大或更小的值。