公开(公告)号：CN110412762A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201811127968.5

申请日：2018-09-26

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 松家大介 ,  土居昭 ,  德山干夫

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明提供光偏转机以及光偏转机控制装置。本发明的目的在于，提供能通过抑制由扭转振动模式引起的反射镜的反射面的凹凸来抑制在该反射面反射的图像的失真的光偏转机。为了解决上述课题，本发明的光偏转机使光束偏转，具备：反射所述光束的反射镜；抓持该反射镜的一端的第一抓持部；使与该第一抓持部连结的第一旋转轴旋转的第一驱动部；抓持该反射镜的另一端的第二抓持部；和使与该第二抓持部连结的第二旋转轴旋转的第二驱动部。

公开(公告)号：CN1185030A

公开(公告)日：1998-06-17

申请号：CN97122955.4

申请日：1997-11-26

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 数见秀之 ,  手束勉 ,  西尾良司 ,  荒井雅嗣 ,  吉冈健 ,  坪根恒彦 ,  土居昭 ,  枝村学 ,  前田贤治 ,  金井三郎

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/00

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/321

Abstract: 向一天线1馈加由射频电源10产生的射频电力,从而产生等离子体。前述天线的一端通过一可变电容器9接地。一法拉第屏蔽8与地电绝缘,同时前述可变电容器的电容被确定为这样一个值:可使前述天线两端的电压绝对值相等而相位相反,以在等离子体发生之后减少前述室壁的部分磨损。在激发前述等离子体6的时刻,前述电容器9的电容被调到与前述最小化真空室壁磨损的值相比更大或更小的值。