氮化镓晶体、氮化镓基板及氮化镓晶体的制造方法

    公开(公告)号:CN117897521A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202280057716.8

    申请日:2022-08-23

    Abstract: 一种特定的晶体缺陷少的高品质的氮化镓晶体,其含F,F以外的卤素元素的含量合计为F的含量的1/100以下,所述氮化镓晶体具有相对于(000‑1)晶面的倾斜度为0度以上且10度以下的主表面1,该主表面1为满足条件(A1)~(A3)中的至少任一个的特定主表面A;能够画出第一线段和第二线段,所述第一线段是在特定主表面A上沿第一方向延伸的长40mm的假想线段,所述第二线段是在该特定主表面A上沿与该第一方向垂直的第二方向延伸的长40mm的假想线段,(A1)在特定主表面A上的任意10mm×10mm的正方形区域中的小面生长区域密度不超过500cm‑2;(A2)在特定主表面A中发现至少一个小面生长区域密度小于5cm‑2的20mm×20mm的正方形区域;(A3)(小面生长区域面积的总和/特定主表面A的面积)为40%以下。

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