声表面波滤波器及其制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113162577A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202110036031.2

    申请日:2021-01-12

    Abstract: 本发明涉及一种声表面波滤波器及其制造方法。该声表面波滤波器包括:氧化物晶体基板;压电晶体基板,键合在所述氧化物晶体基板上;和叉指式换能器电极,形成在所述压电晶体基板上;其中,所述压电晶体基板的厚度为0.05至0.5μm,并且使用奇次谐波。

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