公开(公告)号：CN114582783A

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202111442998.7

申请日：2021-11-30

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 藤内裕史

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明是对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素。保持机构具备：多个支撑销，跨及保持位置与交接位置之间而旋动；第1磁力部，通过切换周围的磁极来使所述各支撑销旋动到所述保持位置及所述交接位置；以及第2磁力部，始终对所述第1磁力部赋予磁场，使所述各支撑销旋动到所述保持位置；切换机构在正常情况下，不对所述第1磁力部赋予第3磁力部的磁场，只有在衬底交接时，才对所述第1磁力部赋予所述第3磁力部的磁场，使得所述各支撑销旋动到所述交接位置。

公开(公告)号：CN114582784A

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202111461026.2

申请日：2021-11-30

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 藤内裕史

IPC: H01L21/687

Abstract: 本发明是一种对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素。上述要素是指：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动部，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。

公开(公告)号：CN118800683A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410436853.3

申请日：2024-04-11

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 大岛和真 ,  白井刚史 ,  中邨友彦 ,  藤内裕史 ,  上原大贵

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  G01B7/00 ,  G01R33/02 ,  G01R35/02 ,  G01R35/00

Abstract: 本发明涉及一种衬底保持装置、衬底处理装置及夹盘销的位置判定方法。本发明提供一种能够以高精度判定夹盘销的位置状态的技术。衬底保持装置2具备多个夹盘销(22)、第1旋转磁铁(33a)、第1磁传感器(40a)、及控制部(90)。多个夹盘销(22)各自在与衬底(W)的周缘抵接的保持位置和与衬底(W)的周缘分离的打开位置之间可旋转地设置。第1旋转磁铁(33a)具有与多个夹盘销(22)中的第1夹盘销(22a)旋转的第1驱动轴线(Q2a)的径向交叉的一对磁极面。第1旋转磁铁(33a)固定于第1夹盘销(22a)而与第1夹盘销(22a)一体地自转。第1磁传感器(40a)在沿着第1驱动轴线(Q2a)的方向上与第1旋转磁铁(33a)并排的位置处，测定表示由第1旋转磁铁(33a)产生的磁场的方向的磁场角度。控制部90基于该磁场角度而判定第1夹盘销(22a)的位置状态。

公开(公告)号：CN116631934A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310138390.8

申请日：2023-02-20

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 藤内裕史

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  B25B11/00

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及基板处理系统。在基板保持部(2)中，保持销(15)具备头(31)、轴杆(33)以及头用螺纹件(43)。头(31)配置在顶罩(13A)的上表面侧。头(31)在与顶罩(13A)的上表面对置的头(31)的下表面形成有底的螺纹孔(31D)。轴杆(33)与螺纹孔(31D)同芯地配置并贯通板状部件，并且上端与头(31)相接。轴杆(33)具有从下端铅垂地延伸至上端的第一贯通孔(33A)。头用螺纹件(43)从轴杆(33)的下端侧插入到轴杆(33)的第一贯通孔(33A)。另外，头用螺纹件(43)通过前端与头(31)的螺纹孔(31D)螺纹结合从而将头固定于轴杆。