公开(公告)号：CN118800683A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410436853.3

申请日：2024-04-11

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 大岛和真 ,  白井刚史 ,  中邨友彦 ,  藤内裕史 ,  上原大贵

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  G01B7/00 ,  G01R33/02 ,  G01R35/02 ,  G01R35/00

Abstract: 本发明涉及一种衬底保持装置、衬底处理装置及夹盘销的位置判定方法。本发明提供一种能够以高精度判定夹盘销的位置状态的技术。衬底保持装置2具备多个夹盘销(22)、第1旋转磁铁(33a)、第1磁传感器(40a)、及控制部(90)。多个夹盘销(22)各自在与衬底(W)的周缘抵接的保持位置和与衬底(W)的周缘分离的打开位置之间可旋转地设置。第1旋转磁铁(33a)具有与多个夹盘销(22)中的第1夹盘销(22a)旋转的第1驱动轴线(Q2a)的径向交叉的一对磁极面。第1旋转磁铁(33a)固定于第1夹盘销(22a)而与第1夹盘销(22a)一体地自转。第1磁传感器(40a)在沿着第1驱动轴线(Q2a)的方向上与第1旋转磁铁(33a)并排的位置处，测定表示由第1旋转磁铁(33a)产生的磁场的方向的磁场角度。控制部90基于该磁场角度而判定第1夹盘销(22a)的位置状态。