公开(公告)号：CN1350185A

公开(公告)日：2002-05-22

申请号：CN01135499.2

申请日：2001-10-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  村上胜彦 ,  近藤洋行 ,  神高典明

IPC: G02B5/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/706 ,  G02B5/08 ,  G03F7/70216 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70316

Abstract: 用于“远紫外线”(“软X射线”或”EUV”)光学系统的多层镜。每个多层镜包括多个交替叠放的第一种材料和第二种材料的层。第一种材料的折射率近似于真空,第二种材料的折射率完全不同于第一种材料的,以提供反射镜对EUV辐射的反射。从表面反射的EUV光的波前轮廓通过去除(”加工”)这个叠层的选定区域的至少一个表面层而得到校正。加工区域具有平滑的梯度边缘,而不是不连贯的边缘。该叠层可包括第一和第二层组,这使得加工的单元可以非常小,这样增加了精度,从而可进行波前光行差的校正。还公开了用于测定反射镜的反射波前轮廓的各种波长技术。镜表面可包括具有高透明性耐蚀材料构成的覆盖层。

公开(公告)号：CN101015038A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200580028236.5

申请日：2005-11-07

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 近藤洋行 ,  宫地敬

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K5/02 ,  H05H1/24

CPC classification number: H05G2/001 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70725

Abstract: 一种曝光装置以及曝光方法，使靶材料等离子化，并产生脉冲光，以脉冲光进行曝光。本发明的特点是包括：发光机构，使间歇性供应的靶材料等离子化而产生脉冲光；标线片载物台，具备照射脉冲光的标线片；感应基板载物台，配置有照射于标线片经过图案化的脉冲光的感应基板；控制机构，在开始对感应基板上进行曝光前，依据感应基板载物台的驱动时序及脉冲光的发光时序，使曝光开始点或者曝光结束点与发光时序一致的方式，控制感应基板载物台。本发明即使在曝光用光源中，使用使靶材料等离子化而产生的脉冲光的情形时，也能获得良好的曝光量均一性。

公开(公告)号：CN100508120C

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200580028236.5

申请日：2005-11-07

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 近藤洋行 ,  宫地敬

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K5/02 ,  H05H1/24

CPC classification number: H05G2/001 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70725

Abstract: 一种曝光装置以及曝光方法，使靶材料等离子化，并产生脉冲光，以脉冲光进行曝光。本发明的特点是包括：发光机构，使间歇性供应的靶材料等离子化而产生脉冲光；标线片载物台，具备照射脉冲光的标线片；感应基板载物台，配置有照射于标线片经过图案化的脉冲光的感应基板；控制机构，在开始对感应基板上进行曝光前，依据感应基板载物台的驱动时序及脉冲光的发光时序，使曝光开始点或者曝光结束点与发光时序一致的方式，控制感应基板载物台。本发明即使在曝光用光源中，使用使靶材料等离子化而产生的脉冲光的情形时，也能获得良好的曝光量均一性。