公开(公告)号：CN116689948A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310681665.2

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  小笠原麦

IPC: B23K26/03 ,  B23K26/04 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/082 ,  B23K26/12 ,  B23K26/14 ,  B23K26/16 ,  B23K26/362

Abstract: 本发明提供一种加工装置及加工方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及计测装置(71i、71j)，计测通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)的相对于物体的位置。

公开(公告)号：CN111263680B

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN201780096206.0

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/362

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；第一位置变更装置(12、15、1122)，变更通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)及物体的至少一者的位置；及控制装置(18)，以如下方式控制第一位置变更装置，即，一面变更照射区域及物体的至少一者的位置，一面对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度，由此形成用于减小物体的表面的相对于流体的摩擦阻力的构造。

公开(公告)号：CN111479651B

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN201880080756.8

申请日：2018-12-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 上野和树 ,  关口慧 ,  白石雅之 ,  江上茂树

IPC: B23K26/34 ,  B22F12/41 ,  B22F12/90 ,  B22F10/85 ,  B22F10/25 ,  B22F10/28 ,  B23K26/21 ,  B33Y30/00

Abstract: 本发明提供了一种处理装置及处理方法、加工方法、造型装置、造型方法、计算机程序及记录媒体，其进行对物体照射能量束的处理，其具备：对物体的表面的至少一部分照射能量束的能量束照射装置、以及变更物体的表面上的能量束的照射位置的位置变更装置，并且使用与物体的形状有关的形状信息来控制能量束的照射位置。

公开(公告)号：CN111315530A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201780096203.7

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/04

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及控制装置(18)，使用物体的表面特性相关的信息控制光照射装置。

公开(公告)号：CN1350185A

公开(公告)日：2002-05-22

申请号：CN01135499.2

申请日：2001-10-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  村上胜彦 ,  近藤洋行 ,  神高典明

IPC: G02B5/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/706 ,  G02B5/08 ,  G03F7/70216 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70316

Abstract: 用于“远紫外线”(“软X射线”或”EUV”)光学系统的多层镜。每个多层镜包括多个交替叠放的第一种材料和第二种材料的层。第一种材料的折射率近似于真空,第二种材料的折射率完全不同于第一种材料的,以提供反射镜对EUV辐射的反射。从表面反射的EUV光的波前轮廓通过去除(”加工”)这个叠层的选定区域的至少一个表面层而得到校正。加工区域具有平滑的梯度边缘,而不是不连贯的边缘。该叠层可包括第一和第二层组,这使得加工的单元可以非常小,这样增加了精度,从而可进行波前光行差的校正。还公开了用于测定反射镜的反射波前轮廓的各种波长技术。镜表面可包括具有高透明性耐蚀材料构成的覆盖层。

公开(公告)号：CN117086469A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202311295330.3

申请日：2018-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  立崎阳介

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/36 ,  B23K26/40 ,  B23K26/142 ,  B23K26/08

Abstract: 本发明提供一种加工装置及加工方法，可适当地对物体形成构造。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及间隔壁构件(132)，包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面的一部分的空间。

公开(公告)号：CN111246963B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN201880069008.X

申请日：2018-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  立崎阳介

IPC: B23K26/142

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及间隔壁构件(132)，包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面之间的光路的空间。

公开(公告)号：CN111246966A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201780096207.5

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/362

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN1973357A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200580020398.4

申请日：2005-06-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H05G2/00

CPC classification number: H05G2/003 ,  H05G2/005

Abstract: 在已加热的贮槽(4)内，收纳有具有Sn的原子数％小于等于 15％的组成的Sn－Ga系合金。将已用压力泵加压的Sn合金导入喷嘴(1)，并从设置在真空室7内的喷嘴(1)的前端喷出液态Sn合金。从喷嘴(1)所喷出的液态Sn合金因表面张力而形成为球形，而作为靶(2)。由配置在真空室(7)的外部的Nd:YAG激光源(8)产生的激光，在透镜(9)聚光并导入真空室(7)内。将被照射了激光的靶(2)等离子体化，并辐射包含EUV光的光。

公开(公告)号：CN117123911A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311295054.0

申请日：2018-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  立崎阳介

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/36 ,  B23K26/40 ,  B23K26/142 ,  B23K26/08

Abstract: 本发明提供一种加工装置及加工方法，可适当地对物体形成构造。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及间隔壁构件(132)，包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面的一部分的空间。