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公开(公告)号:CN118575139A
公开(公告)日:2024-08-30
申请号:CN202380018199.8
申请日:2023-02-02
Applicant: 株式会社小松制作所
Abstract: 加工机械具备:工具,其对工件进行机械加工;深度相机,其以使工件进入拍摄范围的方式设置,对被摄体的深度进行拍摄。位置计测部基于深度相机拍摄到的深度图像来计算工件的表面的三维位置。位置对准部基于表示工件的目标形状的三维数据和工件的三维位置,计算使工件与目标形状重叠时的目标形状的三维位置。切入量决定部基于从规定的视点观察工件时的工件的表面的三维位置与目标形状的表面的三维位置在视线方向上的差,决定工件的表面上的多个点各自的切入量。工具控制部基于所决定的切入量,使工具移动。
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公开(公告)号:CN117916676A
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202280060916.9
申请日:2022-10-28
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: G05B19/404 , B23Q15/013 , B23Q17/22 , B23Q17/24
Abstract: 相对位移确定部基于所述夹具以及所述工具的位移的计测值来确定夹具与工具的相对位移。位置判定部基于夹具以及工具的位移的计测值,来判定夹具以及工具是否分别位于夹具校正点及工具校正点。位移修正部在判定为夹具及工具分别位于夹具校正点及工具校正点时,基于夹具校正点的拍摄图像以及工具校正点的拍摄图像,对夹具以及工具的位移的计测值进行修正。接触判定部基于与主轴的挠曲有关的计测值,来判定工具是否与工件接触。工具数据修正部基于判定为工具与工件接触时的相对位移,对工具长度数据进行修正。控制部基于相对位移、工件的形状以及表示工具的长度的工具长度数据来生成用于控制夹具或工具的控制指令。
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公开(公告)号:CN113518689B
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN202080017871.8
申请日:2020-03-27
Applicant: 株式会社小松制作所
Abstract: 测量值取得部取得由量规测量的工件的尺寸的测量值。目标切削量特定部特定由砂轮切削的目标切削量。推定模型是通过输入基于量规的测量值和目标切削量与噪声的关系而生成的、尺寸的测量值以及所述目标切削量,输出工件的尺寸的推定值的模型。尺寸推定部通过将尺寸的测量值以及目标切削量输入到推定模型中,取得除去了砂轮的磨削的影响的尺寸的推定值。
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公开(公告)号:CN101689481B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200880021793.8
申请日:2008-03-28
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: H01L21/027 , H05B3/20 , H05B3/68
CPC classification number: H01L21/67103
Abstract: 一种使用陶瓷以外的材料作为板片的材料,同时防止板片的热变形,由此低成本且响应性良好的基板温度控制装置用工作台。该基板温度控制装置用工作台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台,其特征在于,具备:具有与基板对置的第一面及位于该第一面的相反侧的第二面的板片;粘接于板片的第二面的面状的加热器,在板片的第一面以第一厚度实施有表面处理,在板片的第二面的规定区域,以比第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。
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公开(公告)号:CN113543931A
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202080017872.2
申请日:2020-03-27
Applicant: 株式会社小松制作所
Abstract: 旋转指令部将旋转指令输出到旋转马达。旋转角取得部从旋转角传感器取得砂轮的旋转角的测量值。振动取得部基于由位移传感器获得的位移的测量值,取得与砂轮向切削方向的振动相关的值。偏心特定部基于旋转角的测量值和与振动相关的值,特定与砂轮的重心和中心轴之差相关的值。
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公开(公告)号:CN113518958A
公开(公告)日:2021-10-19
申请号:CN202080017865.2
申请日:2020-03-27
Applicant: 株式会社小松制作所
Inventor: 板东贤一
IPC: G05D3/12 , G05B19/404
Abstract: 反作用计算部基于工具和工件的相对位置的目标位置,计算与使工具和工件的相对位置位移的促动器的反作用相关的值。指令输出部基于与反作用相关的值和目标位置向促动器输出电流指令。
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公开(公告)号:CN101911248A
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200880124293.7
申请日:2008-12-15
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H05B3/68
CPC classification number: H05B3/143 , H01L21/67248 , H01L21/68735
Abstract: 一种基板温度控制装置用载置台,相比以往能够减少对基板进行加热或冷却时产生的过渡性温度分布的扩展。该基板温度控制装置用载置台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于将具有规定直径的基板载置于规定位置的载置台,包括:板片,其在与基板对置的第一面中包括与基板的端缘对应的位置的区域形成有低于中心部的台阶部;调温部,其配置在板片的与第一面相反侧的第二面。
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公开(公告)号:CN116075393A
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN202180056026.6
申请日:2021-09-10
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: B23Q17/22
Abstract: 相对位移确定部基于所述夹具及所述工具的位移的计测值确定夹具与工具的相对位移。位置判断部基于夹具及工具的位移的计测值,判断夹具及工具是否分别位于夹具校正点及工具校正点。位移修正部在判断为夹具及工具分别位于夹具校正点及工具校正点时,基于夹具校正点的拍摄图像及工具校正点的拍摄图像,对夹具及工具的位移的计测值进行修正。接触判断部基于与工具的挠曲有关的计测值,判断工具是否与工件接触。工具长度修正部基于判断为工具与工件接触时的相对位移,对工具长度数据进行修正。控制部基于相对位移、工件的形状及表示工具的长度的工具长度数据,生成用于对夹具或者工具进行控制的控制指令。
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公开(公告)号:CN113518689A
公开(公告)日:2021-10-19
申请号:CN202080017871.8
申请日:2020-03-27
Applicant: 株式会社小松制作所
Abstract: 测量值取得部取得由量规测量的工件的尺寸的测量值。目标切削量特定部特定由砂轮切削的目标切削量。推定模型是通过输入基于量规的测量值和目标切削量与噪声的关系而生成的、尺寸的测量值以及所述目标切削量,输出工件的尺寸的推定值的模型。尺寸推定部通过将尺寸的测量值以及目标切削量输入到推定模型中,取得除去了砂轮的磨削的影响的尺寸的推定值。
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公开(公告)号:CN101911248B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200880124293.7
申请日:2008-12-15
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H05B3/68
CPC classification number: H05B3/143 , H01L21/67248 , H01L21/68735
Abstract: 一种基板温度控制装置用载置台,相比以往能够减少对基板进行加热或冷却时产生的过渡性温度分布的扩展。该基板温度控制装置用载置台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于将具有规定直径的基板载置于规定位置的载置台,包括:板片,其在与基板对置的第一面中包括与基板的端缘对应的位置的区域形成有低于中心部的台阶部;调温部,其配置在板片的与第一面相反侧的第二面。
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