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公开(公告)号：CN101689481A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880021793.8
申请日：2008-03-28
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: H01L21/027 , H05B3/20 , H05B3/68
CPC classification number: H01L21/67103
Abstract: 一种使用陶瓷以外的材料作为板片的材料，同时防止板片的热变形，由此低成本且响应性良好的基板温度控制装置用工作台。该基板温度控制装置用工作台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台，其特征在于，具备：具有与基板对置的第一面及与该第一面相反侧的第二面的板片；粘接于板片的第二面的面状的加热器，在板片的第一面以第一厚度实施有表面处理，在板片的第二面的规定区域，以比第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101689481B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200880021793.8
申请日：2008-03-28
Applicant: 株式会社小松制作所
IPC: H01L21/027 , H05B3/20 , H05B3/68
CPC classification number: H01L21/67103
Abstract: 一种使用陶瓷以外的材料作为板片的材料，同时防止板片的热变形，由此低成本且响应性良好的基板温度控制装置用工作台。该基板温度控制装置用工作台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台，其特征在于，具备：具有与基板对置的第一面及位于该第一面的相反侧的第二面的板片；粘接于板片的第二面的面状的加热器，在板片的第一面以第一厚度实施有表面处理，在板片的第二面的规定区域，以比第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。
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公开(公告)号：CN303297584S
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201530031146.8
申请日：2015-02-02
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：等离子体炬用电极。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作等离子体炬的电极，其用于安装在等离子体炬上，如各设计使用状态参考图所示。该等离子体炬用于切割金属。3．本外观设计产品的设计要点：各图片所示的产品整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图。5．省略视图：各设计后视图、右视图、左视图与各设计主视图相同，省略各设计后视图、右视图、左视图。6．指定基本设计： 本外观设计产品包含两项相似设计，设计1为基本设计。
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