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公开(公告)号：CN100519095C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200610146365.0
申请日：2006-09-30
Applicant: 株式会社大亨
Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A1)，包括：固定基座(1)、相对于固定基座(1)可转动地被保持的旋转基座(2)、相对于该旋转基座(2)可摆动地被支撑的连杆臂机构(3)、和由该连杆臂机构(3)支撑的柄(4)，伴随着旋转基座(2)和连杆臂机构(3)的动作，由柄(4)水平地保持工件并进行搬送。在旋转基座(2)和固定基座(1)之间设置有气密密封件(23A)，并且在该固定基座(1)和旋转基座(2)上设置有制冷剂循环路，该制冷剂循环路的一部分设置在气密密封件(23A)的附近。另一方面，制冷剂循环路构成为包含形成在旋转基座(1)和固定基座(2)的边界上的环状空间(110A、210A)。
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公开(公告)号：CN104681474A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410669762.0
申请日：2014-11-21
Applicant: 株式会社大亨
IPC: H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/2602 , G05B2219/31286 , H01L21/68 , Y02P90/10 , Y02P90/22
Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN104681474B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201410669762.0
申请日：2014-11-21
Applicant: 株式会社大亨
IPC: H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/2602 , G05B2219/31286 , H01L21/68 , Y02P90/10 , Y02P90/22
Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN100450727C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610100248.0
申请日：2006-07-05
Applicant: 株式会社大亨
Inventor： 宫本玲
Abstract: 本发明提供一种连杆装置，其包括平行的一对第一连杆臂和平行的一对第二连杆臂。第一连杆臂能够围绕一对第一轴摇动地与第一连接部件连接。另外，第二连杆臂能够围绕一对第二轴摇动地与该第一连接部件连接。以第一轴为中心转动的第一齿轮被固定在一对第一连杆臂的各个上。以第二轴为中心转动的第二齿轮被固定在一对第二连杆臂的各个上。第一齿轮和第二齿轮构成一个接合对，另一个第一齿轮和另一个第二齿轮构成另一个接合对。在第一连杆臂沿着反时针方向转动时，该转动力只通过由第一齿轮和第二齿轮构成的接合对，传递给第二连杆臂。在第一连杆臂沿着顺时针方向转动时，该转动力只通过由第一齿轮和第二齿轮构成的另一个接合对，传递给第二连杆臂。
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公开(公告)号：CN109270906A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811229527.6
申请日：2014-11-21
Applicant: 株式会社大亨
IPC: G05B19/418 , H01L21/68
Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101627467A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200780051937.X
申请日：2007-03-02
Applicant: 株式会社大亨
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/06
CPC classification number: B25J9/107 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G2249/02 , H01L21/67115 , H01L21/67742
Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A)，其配置于真空室(B)内，包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B)，通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65)，在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。
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公开(公告)号：CN1939674A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200610146365.0
申请日：2006-09-30
Applicant: 株式会社大亨
Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A1)，包括：固定基座(1)、相对于固定基座(1)可转动地被保持的旋转基座(2)、相对于该旋转基座(2)可摆动地被支撑的连杆臂机构(3)、和由该连杆臂机构(3)支撑的柄(4)，伴随着旋转基座(2)和连杆臂机构(3)的动作，由柄(4)水平地保持工件并进行搬送。在旋转基座(2)和固定基座(1)之间设置有气密密封件(23A)，并且在该固定基座(1)和旋转基座(2)上设置有制冷剂循环路，该制冷剂循环路的一部分设置在气密密封件(23A)的附近。另一方面，制冷剂循环路构成为包含形成在旋转基座(1)和固定基座(2)的边界上的环状空间(110A、210A)。
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公开(公告)号：CN109270906B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201811229527.6
申请日：2014-11-21
Applicant: 株式会社大亨
IPC: G05B19/418 , H01L21/68
Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN101627467B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200780051937.X
申请日：2007-03-02
Applicant: 株式会社大亨
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/06
CPC classification number: B25J9/107 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G2249/02 , H01L21/67115 , H01L21/67742
Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A)，其配置于真空室(B)内，包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B)，通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65)，在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。
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公开(公告)号：CN1891415A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100248.0
申请日：2006-07-05
Applicant: 株式会社大亨
Inventor： 宫本玲
Abstract: 本发明提供一种连杆装置，其包括平行的一对第一连杆臂和平行的一对第二连杆臂。第一连杆臂能够围绕一对第一轴摇动地与第一连接部件连接。另外，第二连杆臂能够围绕一对第二轴摇动地与该第一连接部件连接。以第一轴为中心转动的第一齿轮被固定在一对第一连杆臂的各个上。以第二轴为中心转动的第二齿轮被固定在一对第二连杆臂的各个上。第一齿轮和第二齿轮构成一个接合对，另一个第一齿轮和另一个第二齿轮构成另一个接合对。在第一连杆臂沿着反时针方向转动时，该转动力只通过由第一齿轮和第二齿轮构成的接合对，传递给第二连杆臂。在第一连杆臂沿着顺时针方向转动时，该转动力只通过由第一齿轮和第二齿轮构成的另一个接合对，传递给第二连杆臂。
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